[實用新型]多光束激光剝離裝置

有效

• 申請號: 201920452972.2
• 申請日: 2019-04-04
• 公開（公告）號: CN210470177U
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 崔在浚;金南成;金秉祿;俞鍾在;樸赴省
• 申請（專利權）人: 鐳射希股份有限公司
• 主分類號: H05K13/04
• 分類號: H05K13/04;B23K26/60;B23K26/32;B23K26/20
• 代理公司: 北京鍾維聯合知識產權代理有限公司 11579
• 代理人: 羅銀燕

1.一種多光束激光剝離裝置，用于從基板剝離電子部件，其特征在于，包括：

第一激光模塊，向包括作為剝離對象的電子部件和其周圍電子部件的附著位置在內的規定范圍的第一基板區域照射第一激光束，將多個上述電子部件的焊料加熱至規定的預熱溫度；以及

第二激光模塊，向比上述第一基板區域窄的僅包括上述作為剝離對象的電子部件的附著位置的第二基板區域照射與上述第一激光束重疊的第二激光束，將上述作為剝離對象的電子部件的焊料追加加熱至開始熔融的剝離溫度。

2.根據權利要求1所述的多光束激光剝離裝置，其特征在于，分別包括一個以上的上述第一激光模塊和上述第二激光模塊。

3.根據權利要求1所述的多光束激光剝離裝置，其特征在于，上述第一激光束和上述第二激光束的照射面分別呈四邊形或圓形。

4.根據權利要求1所述的多光束激光剝離裝置，其特征在于，上述第一基板區域的上述預熱溫度與上述第二基板區域的上述剝離溫度的溫度差為20℃至40℃。

5.根據權利要求1所述的多光束激光剝離裝置，其特征在于，各上述激光模塊相互對稱配置，各上述激光束具有相同的光束照射角度，具有互不相同的最大功率和波長。

6.根據權利要求1所述的多光束激光剝離裝置，其特征在于，上述第一基板區域的上述預熱溫度與上述第二基板區域的上述剝離溫度的偏差為最大值的10％至15％。

7.根據權利要求1所述的多光束激光剝離裝置，其特征在于，同時照射上述第一激光束與上述第二激光束。

8.根據權利要求1所述的多光束激光剝離裝置，其特征在于，依次照射上述第一激光束與上述第二激光束。

9.根據權利要求1所述的多光束激光剝離裝置，其特征在于，根據上述第一激光束與上述第二激光束的重疊的溫度曲線具有2階段的上升期和2階段的下降期。

10.根據權利要求1所述的多光束激光剝離裝置，其特征在于，還包括：

攝像頭部，為了拍攝利用上述第一激光束和第二激光束剝離上述作為剝離對象的電子部件的過程，由至少一個攝像頭模塊構成；以及

激光功率調整部，根據上述攝像頭部的輸出信號來生成用于獨立控制各激光模塊的控制信號并向上述各激光模塊施加。