[實用新型]花籃定位組件及制絨裝置有效
| 申請號： | 201920451872.8 | 申請日： | 2019-04-04 |
| 公開（公告）號： | CN209544298U | 公開（公告）日： | 2019-10-25 |
| 發明（設計）人： | 陳龍;高奪利;李成偉 | 申請（專利權）人： | 洛陽阿特斯光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/68 | 分類號： | H01L21/68;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 楊林潔 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 花籃 定位裝置 第二連接件 第一連接件 定位組件 上下方向移動 本實用新型 安裝方便 硅片加工 硅片制絨 技術設備 制絨裝置 裝配 配合 | ||
1.一種花籃定位組件，用于硅片制絨，其特征在于：所述花籃定位組件包括：
花籃，具有第一連接件；
定位裝置，具有第二連接件；
所述第一連接件與所述第二連接件相互作用以防止所述花籃相對所述定位裝置沿上下方向移動。
2.根據權利要求1所述的花籃定位組件，其特征在于，所述第一連接件和所述第二連接件均為磁性件；或所述第一連接件和所述第二連接件中的一個為磁性件，另一個為鐵磁件。
3.根據權利要求2所述的花籃定位組件，其特征在于，所述第一連接件固定于所述花籃的底部；所述定位裝置包括底座，所述第二連接件固定于所述底座上。
4.根據權利要求3所述的花籃定位組件，其特征在于，所述定位裝置還包括設置于所述底座上的調節件，以調節所述花籃與所述底座之間的距離。
5.根據權利要求4所述的花籃定位組件，其特征在于，所述調節件為螺釘，所述螺釘的上端、下端分別暴露于所述底座的上側、下側，所述花籃裝配于所述定位裝置后，所述花籃的底部抵持于所述調節件的上端。
6.根據權利要求2所述的花籃定位組件，其特征在于，所述第一連接件和所述第二連接件均具有保護殼。
7.根據權利要求1所述的花籃定位組件，其特征在于，所述定位裝置還包括底座、自所述底座向上延伸的若干定位柱，所述花籃裝配于所述定位裝置上后，若干所述定位柱于所述花籃的不同側與所述花籃相卡持，以防止所述花籃沿水平方向移動。
8.根據權利要求7所述的花籃定位組件，其特征在于，所述花籃包括相對設置的兩個花籃側板，所述定位裝置包括用于卡合每一所述花籃側板的至少三個所述定位柱，且其中至少兩個定位柱分設于所述花籃側板的兩個端側，其他的定位柱設于所述花籃側板背離另一花籃側板的一側。
9.根據權利要求7所述的花籃定位組件，其特征在于，所述定位柱背離所述底座的一端設置有導向部，所述導向部呈上窄下寬狀。
10.一種制絨裝置，包括槽體、與所述槽體相配合的花籃定位組件，其特征在于，所述花籃定位組件為權利1-9中任意一項所述的花籃定位組件，所述花籃定位組件包括花籃、定位裝置，所述定位裝置固定于所述槽體底部。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
