[實用新型]一種半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920450078.1
• 申請日: 2019-04-04
• 公開（公告）號: CN209979788U
• 公開（公告）日: 2020-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王俊;金嘉輝;周魏;程宏;王勤;傅丁丁
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州載力科技有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備，包括安裝機(jī)箱(1)、裝運(yùn)臺(2)、警示燈(3)、支撐板(4)、活動夾持定位組件(5)、輔助檢測組件(6)和檢測計算組件(7)，其特征在于：所述安裝機(jī)箱(1)一側(cè)固定安裝有裝運(yùn)臺(2)，且安裝機(jī)箱(1)側(cè)壁靠近裝運(yùn)臺(2)頂端的位置開設(shè)有貫穿的通槽(8)，所述警示燈(3)固定安裝在安裝機(jī)箱(1)的頂部，所述支撐板(4)固定安裝在安裝機(jī)箱(1)內(nèi)部，且支撐板(4)內(nèi)設(shè)置有活動夾持定位組件(5)，所述輔助檢測組件(6)位于活動夾持定位組件(5)一側(cè)，所述檢測計算組件(7)固定安裝在安裝機(jī)箱(1)內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備，其特征在于：所述活動夾持定位組件(5)包括機(jī)械手(9)、旋轉(zhuǎn)平臺(10)、三爪夾具(11)、夾持氣缸(12)、升降氣缸(13)、連板(14)、連桿(15)、立桿(16)、固定板(17)和吸氣組件(18)，所述機(jī)械手(9)貫穿固定在支撐板(4)內(nèi)，且機(jī)械手(9)一端可穿過通槽(8)，所述連桿(15)對稱設(shè)有兩個，且兩個連桿(15)均滑動貫穿支撐板(4)，所述旋轉(zhuǎn)平臺(10)位于支撐板(4)頂部，且旋轉(zhuǎn)平臺(10)固定安裝在連桿(15)頂端，所述三爪夾具(11)等距分布在旋轉(zhuǎn)平臺(10)外側(cè)，且三爪夾具(11)均通過夾持氣缸(12)與旋轉(zhuǎn)平臺(10)固定連接，所述連板(14)位于連桿(15)底部，且連桿(15)與兩個連桿(15)的底端均固定連接，所述立桿(16)對稱設(shè)有兩個，且兩個立桿(16)均固定安裝在支撐板(4)底部，所述固定板(17)固定安裝在立桿(16)遠(yuǎn)離支撐板(4)的一端，所述升降氣缸(13)固定安裝在固定板(17)頂部，且升降氣缸(13)輸出端與連板(14)固定連接，所述旋轉(zhuǎn)平臺(10)內(nèi)開設(shè)有氣孔溝槽(19)，所述吸氣組件(18)位于安裝機(jī)箱(1)內(nèi)，且吸氣組件(18)通過管道與氣孔溝槽(19)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備，其特征在于：所述吸氣組件(18)包括吸氣泵(20)和氣壓閥(21)，所述吸氣泵(20)固定安裝在安裝機(jī)箱(1)內(nèi)底部，所述氣壓閥(21)固定安裝在安裝機(jī)箱(1)外側(cè)，所述氣壓閥(21)一端通過管道與吸氣泵(20)連接，且氣壓閥(21)另一端通過管道與氣孔溝槽(19)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備，其特征在于：所述輔助檢測組件(6)包括插刀模組(22)、測試插刀(23)、移動滑臺(24)、晶渣接收氣缸(25)、氣缸固定座(26)、晶渣接收盒(27)、光源(39)和相機(jī)與顯微鏡組件(28)，所述移動滑臺(24)固定安裝在支撐板(4)頂部，所述插刀模組(22)固定安裝在移動滑臺(24)頂部，所述測試插刀(23)固定安裝在插刀模組(22)靠近旋轉(zhuǎn)平臺(10)的一端，所述氣缸固定座(26)位于插刀模組(22)一側(cè)，且氣缸固定座(26)固定安裝在支撐板(4)頂部，所述晶渣接收氣缸(25)固定安裝在氣缸固定座(26)頂部，且晶渣接收氣缸(25)輸出端固定安裝有晶渣接收盒(27)，所述相機(jī)與顯微鏡組件(28)貫穿固定安裝在固定板(17)內(nèi)，所述支撐板(4)內(nèi)開設(shè)有貫穿的檢測槽(29)，所述相機(jī)與顯微鏡組件(28)頂部穿過檢測槽(29)位于支撐板(4)頂部，所述光源(39)位于相機(jī)與顯微鏡組件(28)頂部，且光源(39)固定安裝在安裝機(jī)箱(1)內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備，其特征在于：所述檢測計算組件(7)包括計算機(jī)顯示屏(30)和工控機(jī)(31)，所述工控機(jī)(31)固定安裝在安裝機(jī)箱(1)內(nèi)底部，所述計算機(jī)顯示屏(30)通過活動臂活動安裝在安裝機(jī)箱(1)外側(cè)，且計算機(jī)顯示屏(30)與工控機(jī)(31)電性連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備，其特征在于：所述安裝機(jī)箱(1)一側(cè)通過鉸鏈活動安裝有第一觀察門(32)，且安裝機(jī)箱(1)側(cè)壁靠近第一觀察門(32)底部的位置通過鉸鏈活動安裝有第一維修門(33)，所述安裝機(jī)箱(1)另一側(cè)通過鉸鏈活動安裝有第二觀察門(34)，且安裝機(jī)箱(1)側(cè)壁靠近第二觀察門(34)底部的位置通過鉸鏈活動安裝有第二維修門(35)。