[實(shí)用新型]一種真空吸筆測(cè)量?jī)x

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920444253.6
• 申請(qǐng)日: 2019-04-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209820749U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥新匯成微電子有限公司
• 主分類號(hào): G01M13/00
• 分類號(hào): G01M13/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空吸筆測(cè)量?jī)x，包括測(cè)量?jī)x，所述測(cè)量?jī)x的一端固定連接于固定環(huán)，所述固定環(huán)內(nèi)對(duì)稱開(kāi)設(shè)有兩組空腔，且每組空腔均有兩個(gè)相對(duì)應(yīng)的空腔組成，所述固定環(huán)內(nèi)對(duì)稱設(shè)有多個(gè)夾環(huán)，每個(gè)所述空腔內(nèi)均設(shè)有推動(dòng)機(jī)構(gòu)，且每個(gè)推動(dòng)機(jī)構(gòu)均延伸至固定環(huán)內(nèi)并與夾環(huán)固定連接。優(yōu)點(diǎn)在于：本實(shí)用新型，可以在同一個(gè)測(cè)量?jī)x上對(duì)不同型號(hào)的真空吸筆進(jìn)行檢測(cè)，大大的增加了對(duì)真空吸筆的檢測(cè)的效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空吸筆的性能檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空吸筆測(cè)量?jī)x。

背景技術(shù)

真空吸筆是一種外形像鋼筆的小型氣動(dòng)工具。它由塑料或者橡膠殼體、真空發(fā)生器、真空吸盤(pán)、彎頭和卷管組成，能靈活地運(yùn)用于小零件的裝配。真空吸筆可分為氣動(dòng)吸筆和手動(dòng)吸筆兩大類。氣動(dòng)吸筆的氣源要求是4-6公斤的壓縮空氣，手動(dòng)吸筆的動(dòng)力是橡膠皮囊。兩者相比較氣動(dòng)吸筆動(dòng)力十足但活動(dòng)范圍有限，手動(dòng)吸筆活動(dòng)方便但動(dòng)力不如氣動(dòng)吸筆。

在半導(dǎo)體晶片的生產(chǎn)加工過(guò)程中，需要通過(guò)真空吸筆來(lái)對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行取放；目前為了確保真空吸筆的性能，需要通過(guò)測(cè)量?jī)x來(lái)對(duì)真空吸筆進(jìn)行檢測(cè)；而常使用的測(cè)量?jī)x在對(duì)真空吸筆進(jìn)行檢測(cè)的過(guò)程中，一臺(tái)測(cè)量?jī)x只能對(duì)一個(gè)型號(hào)的真空吸筆進(jìn)行檢測(cè)，不僅效率低，而且較為的不方便。

為此，我們提出一種真空吸筆測(cè)量?jī)x。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)量?jī)x在對(duì)真空吸筆進(jìn)行檢測(cè)的過(guò)程中，一臺(tái)測(cè)量?jī)x只能對(duì)一個(gè)型號(hào)的真空吸筆進(jìn)行檢測(cè)，不僅效率低，而且較為的不方便問(wèn)題，而提出的一種真空吸筆測(cè)量?jī)x。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種真空吸筆測(cè)量?jī)x，包括測(cè)量?jī)x，所述測(cè)量?jī)x的一端固定連接于固定環(huán)，所述固定環(huán)內(nèi)對(duì)稱開(kāi)設(shè)有兩組空腔，且每組空腔均有兩個(gè)相對(duì)應(yīng)的空腔組成，所述固定環(huán)內(nèi)對(duì)稱設(shè)有多個(gè)夾環(huán)，每個(gè)所述空腔內(nèi)均設(shè)有推動(dòng)機(jī)構(gòu)，且每個(gè)推動(dòng)機(jī)構(gòu)均延伸至固定環(huán)內(nèi)并與夾環(huán)固定連接。

在上述的一種真空吸筆測(cè)量?jī)x中，每個(gè)固定機(jī)構(gòu)包括每個(gè)空腔內(nèi)對(duì)稱固定連接的兩個(gè)滑竿，位于同一個(gè)空腔內(nèi)的兩個(gè)所述滑竿上均共同滑動(dòng)連接有推板，每個(gè)所述推板一側(cè)均固定連接有推桿，且每個(gè)推桿均延伸至固定環(huán)內(nèi)，每個(gè)所述夾環(huán)分別固定在相對(duì)應(yīng)的推桿上，每個(gè)所述推板遠(yuǎn)離推桿的一側(cè)均固定連接有拉桿，且每個(gè)拉桿均延伸至固定環(huán)的外側(cè)。

在上述的一種真空吸筆測(cè)量?jī)x中，所述固定環(huán)的內(nèi)側(cè)壁上對(duì)稱固定連接于兩個(gè)密封帶，且每個(gè)推桿與夾環(huán)均固定在相對(duì)應(yīng)的密封帶上，每個(gè)所述密封帶上均開(kāi)設(shè)有插口。

在上述的一種真空吸筆測(cè)量?jī)x中，每個(gè)所述空腔的誒側(cè)壁上均對(duì)稱固定連接有多個(gè)彈簧，且每個(gè)彈簧均固定在同一個(gè)空腔內(nèi)的推板側(cè)壁上。

在上述的一種真空吸筆測(cè)量?jī)x中，所述固定環(huán)的外側(cè)對(duì)稱固定連接有多個(gè)推塊，且每個(gè)推塊分別固定在相對(duì)應(yīng)的拉桿上。

在上述的一種真空吸筆測(cè)量?jī)x中，每個(gè)所述夾環(huán)的內(nèi)側(cè)壁上均固定連接有橡膠環(huán)。

與現(xiàn)有的技術(shù)相比，本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)在于：

1：通過(guò)推動(dòng)每個(gè)拉桿上的推塊，可以推動(dòng)推板在滑竿上進(jìn)行滑動(dòng)，使得推板來(lái)推動(dòng)固定在推桿上的夾環(huán)對(duì)真空吸筆進(jìn)行夾持固定，使得真空吸筆可以穩(wěn)定的在測(cè)量?jī)x1上進(jìn)行性能的檢測(cè)。

2：通過(guò)固定環(huán)內(nèi)對(duì)稱設(shè)置的兩組相對(duì)應(yīng)的夾環(huán)為不同型號(hào)的夾環(huán)(8寸和12寸)，這樣就可以在同一個(gè)測(cè)量?jī)x上對(duì)不同的真空吸筆進(jìn)行檢測(cè)，來(lái)增加對(duì)真空吸筆檢測(cè)效率。

3：通過(guò)固定環(huán)內(nèi)的設(shè)置在密封帶，一方便可以增加固定環(huán)內(nèi)的密封性，增加對(duì)真空吸筆檢測(cè)的質(zhì)量，另一方面用來(lái)起到對(duì)固定環(huán)內(nèi)部的防塵。

綜上所述，本實(shí)用新型，可以在同一個(gè)測(cè)量?jī)x上對(duì)不同型號(hào)的真空吸筆進(jìn)行檢測(cè)，大大的增加了對(duì)真空吸筆的檢測(cè)的效率。

附圖說(shuō)明