[實用新型]一種濕法清洗機臺的輸液系統

有效

• 申請號: 201920441651.2
• 申請日: 2019-04-02
• 公開（公告）號: CN209591992U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 呂慧超;葉日銓;劉家樺
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種濕法清洗機臺的輸液系統，其特征在于，所述輸液系統包括：第一進料管、第二進料管、混合箱、混合液輸送管、溫度控制單元和噴嘴，其中，所述第一進料管和所述第二進料管均與所述混合箱連接，所述混合液輸送管的輸入端與所述混合箱連接，所述混合液輸送管的輸出端與所述噴嘴連接，所述溫度控制單元與所述混合液輸送管連接，所述溫度控制單元用于控制所述混合液輸送管中的混合液溫度，以使所述噴嘴處的混合液的溫度大于或等于預設溫度。

2.根據權利要求1所述的輸液系統，其特征在于，所述輸液系統還包括第三進料管和第三加熱箱，所述第三進料管與所述第三加熱箱連接，所述第三加熱箱與所述第一進料管連接。

3.根據權利要求1所述的輸液系統，其特征在于，所述預設溫度為130攝氏度。

4.根據權利要求2所述的輸液系統，其特征在于，所述第三加熱箱的加熱溫度設定為90攝氏度。

5.根據權利要求2所述的輸液系統，其特征在于，所述輸液系統還包括n≥1個中轉塔，各中轉塔與所述第三加熱箱或所述混合箱連接，所述中轉塔用于中轉所述第三加熱箱中的液體或所述混合液。

6.根據權利要求1-5任一所述的輸液系統，其特征在于，所述混合液輸送管的外部設置有保溫層。

7.根據權利要求1所述的輸液系統，其特征在于，所述溫度控制單元包括溫度檢測模塊，所述溫度檢測模塊設置于所述噴嘴的內部。

8.根據權利要求1或7所述的輸液系統，其特征在于，所述溫度控制單元包括加熱模塊，所述加熱模塊中的加熱部件設置于所述混合液輸送管內部。

9.根據權利要求8所述的輸液系統，其特征在于，所述加熱模塊的加熱部件的長度等于所述混合液輸送管的長度。

10.根據權利要求7所述的輸液系統，其特征在于，所述輸液系統還包括溫度顯示模塊，所述溫度顯示模塊用于顯示所述溫度檢測模塊檢測到的溫度。