[實用新型]慣性傳感器

有效

• 申請號: 201920437611.0
• 申請日: 2019-04-02
• 公開（公告）號: CN210222061U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 汪建平;鄧登峰
• 申請（專利權）人: 杭州士蘭微電子股份有限公司
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;G01P15/18
• 代理公司: 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449
• 代理人: 蔡純;李向英

1.一種慣性傳感器，其特征在于，包括：

襯底；

第一可動質量塊，位于所述襯底上方；

第二可動質量塊，位于所述第一可動質量塊上方；以及

設置于所述第一可動質量塊上的檢測電極，所述檢測電極與所述第二可動質量塊形成檢測電容。

2.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，還包括：

第一錨點，所述第一可動質量塊與所述第一錨點連接；以及

第二錨點，所述第二可動質量塊與所述第二錨點連接。

3.根據權利要求2所述的慣性傳感器，其特征在于，還包括位于所述襯底上的布線層，所述第一錨點和所述第二錨點固定于所述布線層上。

4.根據權利要求2所述的慣性傳感器，其特征在于，還包括沿第一方向延伸的至少一個第一彈性元件和第二彈性元件，

所述第一彈性元件用于連接所述第一錨點和所述第一可動質量塊，所述第二彈性元件用于連接所述第二錨點和所述第二可動質量塊。

5.根據權利要求4所述的慣性傳感器，其特征在于，所述第一錨點和所述第二錨點沿所述第一方向平行設置。

6.根據權利要求4所述的慣性傳感器，其特征在于，所述第一錨點和所述第二錨點沿與所述第一方向垂直的第二方向平行設置。

7.根據權利要求5或6所述的慣性傳感器，其特征在于，所述第一彈性元件的長度方向與所述第一錨點的中線重合，所述第二彈性元件的長度方向與所述第二錨點的中線重合。

8.根據權利要求4所述的慣性傳感器，其特征在于，所述第一可動質量塊位于所述第一彈性元件的兩側的質量不相等，所述第二可動質量塊位于所述第二彈性元件的兩側的質量不相等。

9.根據權利要求8所述的慣性傳感器，其特征在于，所述第一可動質量塊位于所述第一彈性元件左側的質量等于所述第二可動質量塊位于所述第二彈性元件左側的質量，或者

所述第一可動質量塊位于所述第一彈性元件右側的質量等于所述第二可動質量塊位于所述第二彈性元件右側的質量。

10.根據權利要求8所述的慣性傳感器，其特征在于，所述第一可動質量塊關于所述第一彈性元件非對稱設置，所述第二可動質量塊關于所述第二彈性元件非對稱設置。

11.根據權利要求8-10任一項所述的慣性傳感器，其特征在于，每個所述質量塊的至少一側設置有減重孔。

12.根據權利要求8-10任一項所述的慣性傳感器，其特征在于，每個所述質量塊的至少一側設置有配重塊。

13.根據權利要求11所述的慣性傳感器，其特征在于，所述減重孔包括通孔和/或盲孔。

14.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，所述檢測電極至少包括第一檢測電極和第二檢測電極，

所述第二可動質量塊與所述第一檢測電極和所述第二檢測電極分別形成第一檢測電容和第二檢測電容，所述第一檢測電容和所述第二檢測電容構成差分電容結構。

15.根據權利要求14所述的慣性傳感器，其特征在于，所述第一檢測電極和所述第二檢測電極關于第一錨點和/或第二錨點的中線對稱。

16.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，還包括位于所述檢測電極與所述第一可動質量塊之間的絕緣層。

17.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，所述第一可動質量塊和所述第二可動質量塊的厚度分別為10～25微米。