[實用新型]管式PECVD石墨舟硅片復位拍舟裝置

有效

• 申請號: 201920436266.9
• 申請日: 2019-04-02
• 公開（公告）號: CN209652423U
• 公開（公告）日: 2019-11-19
• 發明（設計）人: 鄒海軍;吳家宏;張凱勝;姚偉忠;孫鐵囤
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;H01L31/18
• 代理公司: 32258 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 朱麗莎<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種管式PECVD石墨舟硅片復位拍舟裝置，設置在管式PECVD石墨舟上下舟的緩沖區(1)，其特征在于：所述的緩沖區(1)對應石墨舟上方固定有支架(2)，拍舟裝置包括至少兩組連接在支架(2)上的拍打機構，所述拍打機構沿石墨舟長度方向均勻間隔分布；所述的拍打機構包括拍打氣缸(3)，所述的拍打氣缸(3)的活塞桿(4)向下伸出并指向石墨舟上端面，所述拍打氣缸(3)的活塞桿(4)下端面上固定有附件加工件(5)，所述附件加工件(5)的下端面上固定有硅膠緩沖墊(6)；所述的拍打氣缸(3)的外殼上還固定有氣缸緩沖器(7)，所述拍打氣缸(3)的外殼上對應氣缸緩沖器(7)上方還具有與活塞桿(4)同步運動的氣缸擋塊(8)，所述氣缸擋塊(8)與氣缸緩沖器(7)之間距離為活塞桿(4)運動的最大行程；所述拍打氣缸(3)的外殼對應氣缸擋塊(8)運動行程最上端還固定有上限位塊(9)。

2.如權利要求1所述的管式PECVD石墨舟硅片復位拍舟裝置，其特征在于：所述的支架(2)上還設有可監測石墨舟是否留存在緩沖區(1)內的檢測感應器(10)。

3.如權利要求1所述的管式PECVD石墨舟硅片復位拍舟裝置，其特征在于：所述的拍打氣缸(3)的活塞桿(4)伸縮方向與石墨舟上端面呈垂直設置，氣缸擋塊(8)的運動方向與活塞桿(4)伸縮方向平行，所述的拍打氣缸(3)外殼表面具有供氣缸擋塊(8)伸出并運動的條型槽，所述氣缸緩沖器(7)安裝固定在條型槽下方的外殼上，上限位塊(9)固定在條型槽上方的外殼上。