[實用新型]表面檢查清潔裝置及系統

有效

• 申請號: 201920434046.2
• 申請日: 2019-03-29
• 公開（公告）號: CN210253378U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 唐軍
• 申請（專利權）人: 唐軍
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B5/04;B08B13/00;B08B15/04;G01N21/94
• 代理公司: 廣州市南鋒專利事務所有限公司 44228
• 代理人: 鄭學偉;葉利軍

本實用新型公開了一種表面檢查清潔裝置及系統，其中，該表面檢查清潔裝置，包括機殼及紫外光源，機殼具有一適于收容被清潔器具的清潔腔，清潔腔具有進風口及抽風口；抽風口用于與抽風設備連接，以通過抽風設備對清潔腔進行抽風；紫外光源設在機殼上，用以向清潔腔內提供預定波長的紫外光線并照射至被清潔器具。根據本實用新型實施例提供的表面檢查清潔裝置及系統，紫外光源照射在清潔腔內的被清潔器具上，一方面，可以激發被清潔器具上殘余的有機材料發光，發光的有機材料容易被觀察到，進而方便檢查被清潔器具是否被清潔干凈，另一方面，利用有機材料的光敏氧化作用，紫外光可以去除黏附在被清潔器具表面上的有機材料，達到更高的潔凈度。

技術領域

本實用新型涉及OLED制造技術領域，尤其涉及一種用于對有機發光二極管制備用器具進行檢查及清潔的表面檢查清潔裝置及系統。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)又稱為有機電激光顯示、有機發光半導體。OLED顯示技術具有自發光、廣視角、幾乎無窮高的對比度、較低耗電、極高反應速度等優點。

OLED在生產制程中，一般需要用到一些器具，例如坩堝、掩膜板等，這些器具在使用中會殘留一些有機材料，而OLED加工制造的精度要求極高，因此，坩堝、掩膜板等器具需要清潔干凈，才能用于下次使用。相關技術中，對于這些器具一般通過清洗設備清洗后投入使用，但是，即便是這些器具經過清洗后，也有仍然可能殘留一些有機材料以及一些灰塵等污染物，而且這些殘留的污染物，難以被觀察到，尤其是有機材料，因此，也難以識別出這些污染物是否清潔干凈。

實用新型內容

本實用新型旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。為此，本實用新型的一個目的在于提出一種表面檢查清潔裝置。

本實用新型的另一個目的在于提出一種表面檢查清潔系統。

為實現上述目的，一方面，根據本實用新型實施例的表面檢查清潔裝置，適于對有機發光二極管制備用器具進行檢查及清潔，包括：

機殼，所述機殼具有一適于收容被清潔器具的清潔腔，所述清潔腔具有進風口及抽風口；所述抽風口用于與抽風設備連接，以通過所述抽風設備對所述清潔腔進行抽風；

紫外光源，所述紫外光源設在所述機殼上，用以向所述清潔腔內提供預定波長的紫外光線并照射至所述被清潔器具。

根據本實用新型實施例提供的表面檢查清潔裝置，紫外光源照射在清潔腔內的被清潔器具上，一方面，可以激發被清潔器具上殘余的有機材料發光，發光的有機材料容易被觀察到，進而方便檢查被清潔器具是否被清潔干凈，另一方面，利用有機材料的光敏氧化作用，紫外光可以去除黏附在被清潔器具表面上的有機材料，達到更高的潔凈度。此外，抽風口連接的抽風設備可以對清潔腔進行抽風，進而將清潔腔內、被清潔器具表面附著的灰塵、光敏氧化作用分解的物質及其他污染物排出至清潔腔外。

另外，根據本實用新型上述實施例的表面檢查清潔裝置還可以具有如下附加的技術特征：

根據本實用新型的一個實施例，還包括：

承載板，所述承載板設在所述清潔腔內且位于所述抽風口的上方，且所述承載板上設有陣列布置的多個通風孔。

根據本實用新型的一個實施例，還包括：

集塵罩，所述集塵罩設在所述清潔腔內且位于所述承載板的下方，所述集塵罩的上端敞開形成敞口，所述敞口與所述承載板上的多個所述通風孔相通，所述集塵罩的下端設有所述的抽風口。

根據本實用新型的一個實施例，所述集塵罩內設有位于所述抽風口上方的過濾板，所述過濾板適于過濾污染物。

根據本實用新型的一個實施例，還包括：