[實用新型]一種微型器件去除裝置及去除系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920405979.9
• 申請日: 2019-03-27
• 公開（公告）號: CN209544382U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韓進龍
• 申請（專利權(quán)）人: 韓進龍
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00
• 代理公司: 安徽知問律師事務(wù)所 34134
• 代理人: 王亞軍

1.一種微型器件去除裝置，其特征在于：包括去除感應(yīng)裝置(902)和與去除感應(yīng)裝置(902)相對設(shè)置的去除轉(zhuǎn)寫裝置(903)，利用去除感應(yīng)裝置(902)、微型器件(1)和去除轉(zhuǎn)寫裝置(903)之間的電場感應(yīng)進行對應(yīng)位置的微型器件(1)的轉(zhuǎn)移，將轉(zhuǎn)移基板(5)上的微型器件(1)轉(zhuǎn)移至去除感應(yīng)裝置(902)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微型器件去除裝置，其特征在于：去除感應(yīng)裝置(902)為一金屬滾輪或外部通過皮帶的連接多個滾輪結(jié)構(gòu)，金屬滾輪或皮帶上表面設(shè)置有感光導(dǎo)電層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微型器件去除裝置，其特征在于：去除感應(yīng)裝置(902)為去除感應(yīng)輪，去除感應(yīng)輪內(nèi)部設(shè)置有去除感應(yīng)裝置磁鐵(9022)和/或去除轉(zhuǎn)寫裝置(903)內(nèi)部設(shè)置有去除轉(zhuǎn)寫磁鐵(9031)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種微型器件去除裝置，其特征在于：還包括充電輥(904)，充電輥(904)緊貼去除感應(yīng)裝置(902)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種微型器件去除裝置，其特征在于：還包括光源裝置(901)，光源裝置(901)光源朝向去除感應(yīng)裝置(902)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種微型器件去除裝置，其特征在于：還包括回收機構(gòu)，回收機構(gòu)緊貼去除感應(yīng)裝置(902)，回收去除的微型器件(1)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種微型器件去除裝置，其特征在于：回收機構(gòu)包括去除刮刀(905)和去除回收倉(906)，去除刮刀(905)緊貼去除感應(yīng)裝置(902)的外緣，去除回收倉(906)與去除感應(yīng)裝置(902)相鄰設(shè)置。

8.一種微型器件去除系統(tǒng)，其特征在于：包括若干權(quán)利要求1-7任一所述的去除裝置(9)、檢測裝置(8)和控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)與去除裝置(9)、檢測裝置(8)分別連接，若干去除裝置(9)設(shè)置于檢測裝置(8)之后。