[實用新型]MEMS傳感器和電子設備有效
| 申請號： | 201920405470.4 | 申請日： | 2019-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN209949542U | 公開（公告）日： | 2020-01-14 |
| 發明（設計）人： | 端木魯玉;鞏向輝;付博;方華斌 | 申請（專利權）人： | 歌爾科技有限公司 |
| 主分類號： | H05K1/02 | 分類號： | H05K1/02;H05K1/18;H05K9/00 |
| 代理公司： | 44287 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 | 代理人： | 胡海國 |
| 地址： | 266104 山東省青島*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 容納空間 電路板 本實用新型 導電顆粒 防水膠 封裝罩 芯片 外界信號干擾 防水膠填充 電子設備 屏蔽效果 罩設 | ||
【權利要求書】：
1.一種MEMS傳感器，其特征在于，包括：
電路板；
封裝罩，所述封裝罩罩設于所述電路板，并形成容納空間；
芯片，所述芯片設于電路板上，并位于所述容納空間內；
防水膠，所述防水膠填充于所述容納空間內；以及
多個導電顆粒，多個所述導電顆粒分布于所述容納空間內的防水膠中。
2.如權利要求1所述的MEMS傳感器，其特征在于，所述導電顆粒為金屬顆粒。
3.如權利要求1所述的MEMS傳感器，其特征在于，所述導電顆粒均勻分布于所述容納空間內。
4.如權利要求1所述的MEMS傳感器，其特征在于，所述導電顆粒為球體或多面體。
5.如權利要求1所述的MEMS傳感器，其特征在于，所述導電顆粒的粒徑范圍為0.5um～50um。
6.如權利要求1至5中任意一項所述的MEMS傳感器，其特征在于，所述導電顆粒占所述容納空間體積的1/10000～1/10。
7.如權利要求1至5中任意一項所述的MEMS傳感器，其特征在于，所述導電顆粒包括銀、銅、鎳或金。
8.如權利要求1至5中任意一項所述的MEMS傳感器，其特征在于，所述防水膠包括丙烯酸、聚氨酯或有機硅。
9.如權利要求1所述的MEMS傳感器，其特征在于，所述封裝罩包括罩設于所述容納空間的金屬結構。
10.一種電子設備，其特征在于，包括如權利要求1至9中任意一項所述的MEMS傳感器。
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