[實用新型]振動傳感器和音頻設備

有效

• 申請號: 201920403570.3
• 申請日: 2019-03-27
• 公開（公告）號: CN209314103U
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 端木魯玉;李欣亮;孫健;方華斌;付博
• 申請（專利權）人: 歌爾科技有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 胡海國

1.一種振動傳感器，其特征在于，包括：

外殼，所述外殼形成有容納腔，所述容納腔形成有開口；

MEMS麥克風，所述MEMS麥克風將所述開口封堵，所述MEMS麥克風的聲孔與所述容納腔連通；

第一振膜，所述第一振膜可振動地設置于所述容納腔；

質量塊，所述質量塊固定設置于所述第一振膜的表面；以及

緩沖結構，所述緩沖結構設于所述容納腔內，所述緩沖結構用于限制所述第一振膜的振動幅度。

2.如權利要求1所述的振動傳感器，其特征在于，所述緩沖結構包括第一緩沖部和第二緩沖部，所述第一緩沖部和所述第二緩沖部沿所述第一振膜的振動方向分別設于所述第一振膜的兩側。

3.如權利要求2所述的振動傳感器，其特征在于，所述第一緩沖部包括至少一第一緩沖塊，所述第一緩沖塊設于所述容納腔的內壁面，并正對所述第一振膜；

所述第二緩沖部包括至少一第二緩沖塊，所述第二緩沖塊設于所述MEMS麥克風封堵所述外殼一側的表面，并正對所述第一振膜。

4.如權利要求3所述的振動傳感器，其特征在于，所述第一緩沖塊及所述第二緩沖塊均為多個；

每一所述第一緩沖塊與每一所述第二緩沖塊相對設置于所述第一振膜兩側；

或者，所述第一緩沖塊與所述第二緩沖塊交替設置于所述第一振膜兩側。

5.如權利要求3所述的振動傳感器，其特征在于，所述質量塊貼合于所述第一振膜背離所述MEMS麥克風的表面，定義所述第一緩沖塊至所述質量塊的間距為h，定義所述第二緩沖塊至所述第一振膜的間距為s，h與s的關系為：h＝s；

或者，所述質量塊貼合于所述第一振膜朝向所述MEMS麥克風的表面，定義所述第一緩沖塊至所述第一振膜的間距為h，定義所述第二緩沖塊至所述質量塊的間距為s，h與s的關系為：h＝s。

6.如權利要求2所述的振動傳感器，其特征在于，所述第一緩沖部包括至少一第三緩沖塊，所述第三緩沖塊設于所述質量塊遠離所述第一振膜一側的表面；

所述第二緩沖部包括至少一第四緩沖塊，所述第四緩沖塊設于所述第一振膜遠離所述質量塊一側的表面。

7.如權利要求6所述的振動傳感器，其特征在于，所述第三緩沖塊及所述第四緩沖塊均為多個；

每一所述第三緩沖塊與所述第四緩沖塊在所述第一振膜上的投影位置重疊；

或者，每一所述第三緩沖塊與所述第四緩沖塊在所述第二振膜上的投影位置交錯。

8.如權利要求6所述的振動傳感器，其特征在于，定義所述第三緩沖塊至所述第三緩沖塊正對的所述容納腔的平面的距離為h，定義所述第四緩沖塊至其正對的所述容納腔的平面的距離為s，h與s的關系為：h＝s。

9.如權利要求5或8所述的振動傳感器，其特征在于，所述h的取值范圍為：5um≤h≤500um。

10.如權利要求1所述的振動傳感器，其特征在于，所述緩沖結構為柔性材料。

11.一種音頻設備，其特征在于，包括如權利要求1至10中任一項所述的振動傳感器。