[實用新型]探針卡清洗裝置有效
| 申請號： | 201920402741.0 | 申請日： | 2019-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN209969058U | 公開（公告）日： | 2020-01-21 |
| 發明（設計）人： | 肖佳明;王永耀 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/12 | 分類號： | B08B3/12;B08B3/08;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人： | 孫佳胤;陳麗麗 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針卡 清洗槽 清洗液 本實用新型 清洗裝置 半導體制造技術 超聲波換能器 超聲波頻率 噴射氣體 使用壽命 排液口 中探針 噴口 支架 去除 損傷 殘留 容納 驅動 清潔 支撐 | ||
1.一種探針卡清洗裝置，其特征在于，包括：
清洗槽，用于容納清洗液，且所述清洗槽的底部具有排液口；
支架，固定于所述清洗槽內，用于支撐所述探針卡；
至少一超聲波換能器，與所述清洗槽連接，用于驅動所述清洗槽中的清洗液在超聲波頻率下振動；
至少一第一噴口，位于所述清洗槽內，用于向位于所述清洗槽內的探針卡噴射氣體，以去除殘留于所述探針卡表面的清洗液。
2.根據權利要求1所述的探針卡清洗裝置，其特征在于，所述支架包括環狀支撐板以及位于所述環狀支撐板表面的多個卡銷；所述環狀支撐板固定于所述清洗槽的內壁表面，且所述環狀支撐板的中心與所述清洗槽的中心在豎直方向上的投影重合，用于支撐所述探針卡的邊緣。
3.根據權利要求2所述的探針卡清洗裝置，其特征在于，多個所述卡銷關于所述環狀支撐板的中心對稱分布。
4.根據權利要求1所述的探針卡清洗裝置，其特征在于，所述超聲波換能器的數量為多個；多個所述超聲波換能器設置于所述清洗槽的外側，且與所述清洗槽的底部連接。
5.根據權利要求1所述的探針卡清洗裝置，其特征在于，所述第一噴口的數量為多個，且多個所述第一噴口環繞所述清洗槽的內壁對稱設置。
6.根據權利要求1所述的探針卡清洗裝置，其特征在于，所述氣體為氮氣。
7.根據權利要求1所述的探針卡清洗裝置，其特征在于，還包括位于所述清洗槽內的第二噴口；所述第二噴口設置于所述支架上方，用于向所述清洗槽內噴射所述清洗液。
8.根據權利要求7所述的探針卡清洗裝置，其特征在于，還包括位于所述清洗槽外部的傳輸管道以及設置于所述傳輸管道中的控制閥；所述傳輸管道的一端與所述第二噴口連通、另一端與用于存儲清洗液的儲液罐連通；所述控制閥用于控制所述第二噴口與所述儲液罐是否連通。
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