[實(shí)用新型]一種基于反射式單全息光柵的位移測(cè)量系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920395952.6
• 申請(qǐng)日: 2019-03-27
• 公開（公告）號(hào): CN209894118U
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高仁祥;李勁松
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)計(jì)量大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02;G01B9/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種基于反射式單全息光柵的位移測(cè)量系統(tǒng)，包括激光器、準(zhǔn)直透鏡、光隔離器、高密度全息光柵、第一反射鏡、第二反射鏡、第一偏振光分光棱鏡、1/4波片、分光棱鏡、第二偏振光分光棱鏡、第三偏振光分光棱鏡、第一光電探測(cè)器、第二光電探測(cè)器、信號(hào)調(diào)理系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集卡和計(jì)算機(jī)；其特征在于，所述高密度全息光柵設(shè)置于所述激光器所發(fā)出光束的垂直面，并與準(zhǔn)直透鏡、光隔離器相平行；所述第一反射鏡、第二反射鏡位于激光器兩側(cè)，對(duì)稱分布于激光器兩側(cè)；所述第一偏振分光棱鏡放置于第一反射鏡、第二反射鏡的反射光路上；所述1/4波片放置于第一偏振分光棱鏡出射光方向，使通過(guò)第一偏振光分光棱角的出射光垂直通過(guò)1/4波片；所述分光棱鏡將通過(guò)1/4波片后的光束分為等光強(qiáng)的兩束光線并分別垂直入射第二偏振光分光棱鏡、第三偏振光分光棱鏡；所述光電探測(cè)器接受通過(guò)偏振光分光棱鏡的光強(qiáng)變化信號(hào)；所述信號(hào)調(diào)理系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集卡，計(jì)算機(jī)分別調(diào)理、收集、分析接受的信號(hào)。

2.如權(quán)利要求1所述的基于反射式單全息光柵的位移測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述的激光器發(fā)出的光依次垂直射入準(zhǔn)直透鏡、光隔離器和高密度全息光柵。

3.如權(quán)利要求1所述的基于反射式單全息光柵的位移測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述的準(zhǔn)直透鏡、光隔離器和高密度全息光柵所在平面兩兩平行。

4.如權(quán)利要求1所述的基于反射式單全息光柵的位移測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述高密度全息光柵的線密度為2000/mm，即柵距為0.5um。