[實用新型]一種靶材

有效

• 申請號: 201920393122.X
• 申請日: 2019-03-27
• 公開（公告）號: CN209702848U
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發明（設計）人: 臧龍杰
• 申請（專利權）人: 昆山世高新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種靶材，包括靶材；所述靶材下端面設置有銅網，所述銅網位于硅膠內，所述銅網與硅膠平面大小相同，所述銅網不與靶材連接的一側設置有靶材背板，所述銅網與靶材以及靶材背板均為貼合連接，所述靶材、銅網以及靶材背板均通過硅膠粘合。本實用新型一種靶材，結構簡便，能使硅膠完全導電，并且導電效果好。

技術領域

本實用新型涉及鍍膜設備領域，尤其涉及一種靶材。

背景技術

鍍膜設備靶材降溫快速冷卻需要使用水冷板，鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當的工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單的說，靶材就是高速核能粒子轟擊的目標材料，更換不同的靶材，就可以得到不同的膜系。

目前客戶在磁控濺射時會因為焊接使用的硅膠存在不導電或者電阻很大而無法導電使用靶材，同時很多的硅膠中會增加銅粉或銀粉來提高導電性，但成本高，效果差。

實用新型內容

實用新型目的：提供一種靶材，結構簡便，能使硅膠完全導電，并且導電效果好。

一種靶材，包括靶材；所述靶材下端面設置有銅網，所述銅網位于硅膠內，所述銅網與硅膠平面大小相同，所述銅網不與靶材連接的一側設置有靶材背板，所述銅網與靶材以及靶材背板均為貼合連接，所述靶材、銅網以及靶材背板均通過硅膠粘合。

進一步的，所述靶材、銅網以及靶材背板層疊設置。

進一步的，所述靶材位于第一層，所述銅網以及靶材背板依次連接設置。

進一步的，所述硅膠以及銅網的大小可與靶材大小相同。

進一步的，所述銅網位于硅膠中間部位。

進一步的，所述靶材背板的厚度大于靶材的厚度，所述靶材的厚度大于硅膠的厚度，所述硅膠的厚度大于銅網的厚度。

本實用新型實現以下有益效果：

一種靶材，結構簡便，無需在硅膠中增加銅粉或銀粉，能使硅膠完全導電，降低企業的生產成本。

附圖說明

此處的附圖被并入說明書中并構成本說明書的一部分，示出了符合本公開的實施例，并與說明書一起用于解釋本公開的原理。

圖1為一種靶材截面示意圖。

圖中：1.靶材；2.銅網；3.硅膠；4.靶材背板。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。

參考圖1，一種靶材，包括靶材1；所述靶材1下端面設置有銅網2，所述銅網2位于硅膠3內，所述銅網2與硅膠3平面大小相同，保證硅膠3可將銅網2粘住，所述銅網2不與靶材1連接的一側設置有靶材背板4，所述銅網2與靶材1以及靶材背板4均為貼合連接，通過銅網2導電，保證將靶材1與靶材背板4導通，所述靶材1、銅網2以及靶材背板4均通過硅膠3粘合，確保硅膠能完全導電。

所述靶材1、銅網2以及靶材背板4層疊設置。

所述靶材1位于第一層，所述銅網2以及靶材背板4依次連接設置。

所述硅膠3以及銅網2的大小可與靶材1大小相同。

所述銅網2位于硅膠3中間部位。

所述靶材背板4的厚度大于靶材1的厚度，所述靶材1的厚度大于硅膠3的厚度，所述硅膠3的厚度大于銅網2的厚度。

上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的是讓熟悉該技術領域的技術人員能夠了解本實用新型的內容并據以實施，并不能以此來限制本實用新型的保護范圍。凡根據本實用新型精神實質所作出的等同變換或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。