[實用新型]一種靶材真空焊接系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920393096.0
• 申請日: 2019-03-27
• 公開（公告）號: CN210334659U
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發(fā)明（設計）人: 臧龍杰
• 申請（專利權）人: 昆山世高新材料科技有限公司
• 主分類號: B23K3/00
• 分類號: B23K3/00;B23K3/08;B23K37/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種靶材真空焊接系統(tǒng)，其特征在于，包括底板以及位于底板上方的真空罩，真空罩通過氣管連接設有真空泵系統(tǒng)，真空罩內部底側設有背板區(qū)域，背板區(qū)域上方設有焊接層，焊接層為膠焊接層，焊接層上方設有靶材區(qū)域。本實用新型將靶材置于真空環(huán)境中焊接，可以減少焊接過程中氧化物以及氣泡的產(chǎn)生，從而提高靶材的焊接效果。

技術領域

本實用新型涉及靶材焊接領域，尤其涉及一種靶材真空焊接系統(tǒng)。

背景技術

隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，薄膜科學應用日益廣泛，濺射法是制備薄膜材料的主要技術之一，濺射沉積薄膜的原材料即為靶材，用靶材濺射沉積的薄膜致密度高，附著性好，20世紀90年代以來微電子新旗艦和新材料發(fā)展迅速，電子、磁性、光學、光電和超導薄膜等已經(jīng)廣泛應用于高新技術和工業(yè)領域，促成建設靶材市場規(guī)模日益壯大。

現(xiàn)有的高純靶綁定工藝通常在大氣下進行焊接，但是在焊接的過程中會出現(xiàn)氧化以及氣泡，嚴重的影響到靶材的焊接效果。

實用新型內容

實用新型目的：為了解決背景技術中存在的不足，所以本實用新型提供了一種靶材真空焊接系統(tǒng)。

技術方案：一種靶材真空焊接系統(tǒng)，包括底板以及位于底板上方的真空罩，所述真空罩通過氣管連接設有真空泵系統(tǒng)，所述真空罩內部底側設有背板區(qū)域，所述背板區(qū)域上方設有焊接層，所述焊接層為膠焊接層，所述焊接層上方設有靶材區(qū)域。

優(yōu)選的，所述真空罩為半圓弧狀。

優(yōu)選的，所述背板區(qū)域長度大于焊接層長度，所述焊接層長度不小于所述靶材區(qū)域長度。

本實用新型實現(xiàn)以下有益效果：

1.本實用新型使用真空泵系統(tǒng)將真空罩內的氣體抽走，可以提供一個真空焊接，減少焊接中氧化物、氣泡的產(chǎn)生。

2.本實用新型采用膠焊接層具有導電、導熱的作用，能夠較佳的將靶材跟背板區(qū)域焊接在一起。

附圖說明

此處的附圖被并入說明書中并構成本說明書的一部分，示出了符合本公開的實施例，并與說明書一起用于解釋本公開的原理。

圖1為本實用新型提供的整體結構示意圖。

圖中：1.底板、2.真空罩、3.真空泵系統(tǒng)、4.氣管、5.背板區(qū)域、6.焊接層、 7.靶材區(qū)域。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。

參考圖1，一種靶材真空焊接系統(tǒng)，包括底板1以及位于底板1上方的真空罩2，真空罩2通過氣管4連接設有真空泵系統(tǒng)3，真空罩2內部底側設有背板區(qū)域5，背板區(qū)域5上方設有焊接層6，焊接層6為膠焊接層，焊接層6上方設有靶材區(qū)域7。

真空罩2為半圓弧狀。

背板區(qū)域5長度大于焊接層6長度，焊接層6長度不小于靶材區(qū)域7長度。

具體的實施過程如下，通過使用真空泵系統(tǒng)3將真空罩2內的空氣抽走，實現(xiàn)真空罩2內為真空，靶材區(qū)域7用于放置濺射鍍膜原材料，此處所說的濺射鍍膜原材料主要為金屬或者陶瓷，背板區(qū)域5用于放置銅或者鈦材料制成的背板，銅和鈦材質的背板具有一定強度，并且導電導熱，本實用新型設置的焊接層6 用于將靶材跟背板焊接在一起，而采用膠焊接層6是因為其具有導電、導熱的作用，能夠較佳的實現(xiàn)焊接，并且在真空罩2內焊接可以減少焊接中氧化物、氣泡的產(chǎn)生。

上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的是讓熟悉該技術領域的技術人員能夠了解本實用新型的內容并據(jù)以實施，并不能以此來限制本實用新型的保護范圍。凡根據(jù)本實用新型精神實質所作出的等同變換或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。