[實用新型]一種晶圓烘干槽

有效

• 申請號: 201920385201.6
• 申請日: 2019-03-26
• 公開（公告）號: CN209820039U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 王靜強;徐福興
• 申請（專利權）人: 昆山基侑電子科技有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/14;F24H9/20;H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種晶圓烘干槽，包括石英內槽體以及外槽體；所述石英內槽體底端設置有石英碳素加熱器，所述石英內槽體通過支撐架與氮氣加熱器相連接，所述氮氣加熱器與石英碳素加熱器位置相對應，所述外槽體的側邊設置有有桿水缸。本實用新型一種晶圓烘干槽，結構簡便，減少加熱時間，可以有效的提高運行效率。

技術領域

本實用新型涉及晶圓清洗設備技術領域，尤其涉及一種晶圓烘干槽。

背景技術

在晶圓清洗以后，為了避免在晶圓上留下水漬，一般采用濃縮大量高純氮氣的氣態的異丙基乙醇(IPA)吹掃晶圓表面進行干燥處理。異丙基乙醇是無色透明液體，沸點是65.3℃，為了保持異丙基乙醇的氣態，高純氮氣也需加熱。

高純氮氣的消耗量很大，所以需要對氮氣快速加熱，但是現有的單臺高純氮氣加熱器的加熱速度不能滿足氮氣用量需求，只能多臺聯合使用，導致設備成本增高，同時加熱時間長。

實用新型內容

實用新型目的：提供一種晶圓烘干槽，結構簡便，減少加熱時間，可以有效的提高運行效率。

一種晶圓烘干槽，包括石英內槽體以及外槽體；所述石英內槽體底端設置有石英碳素加熱器，所述石英內槽體通過支撐架與氮氣加熱器相連接，所述氮氣加熱器與石英碳素加熱器位置相對應，所述外槽體的側邊設置有有桿水缸。

進一步的，所述石英內槽體位于外槽體內部，所述石英內槽體與外槽體中間填充隔熱保溫棉。

進一步的，所述石英碳素加熱器的內部焊接有K型熱電偶。

進一步的，所述K型熱電偶具體為不銹鋼外絲式。

進一步的，所述有桿水缸與槽蓋通過轉軸連接，所述有桿水缸具體為水動式。

進一步的，所述石英碳素加熱器為Z型，所述外槽體上設置有光電開關。

本實用新型實現以下有益效果：

1.本實用新型采用石英碳素加熱器可輕松更換，并且減少加熱時間，可有效提高運行效率。

2.本實用新型不銹鋼外絲式K型熱電偶搭配溫控器及SCR(溫度調整器)使用，可精確控制溫度于正負一度。

3.本實用新型的石英內槽體與外槽體之間填充隔熱保溫棉，確保升溫溫度不流失，提高生產效率。

附圖說明

此處的附圖被并入說明書中并構成本說明書的一部分，示出了符合本公開的實施例，并與說明書一起用于解釋本公開的原理。

圖1為一種晶圓烘干槽整體結構軸測圖。

圖2為一種晶圓烘干槽整體結構右視圖。

圖3為一種晶圓烘干槽整體結構俯視圖。

圖4為一種晶圓烘干槽氮氣加熱器示意圖。

圖中：1.石英內槽體；2.外槽體；3.石英碳素加熱器；4.有桿水缸；5.氮氣加熱器；6.光電開關；7.槽蓋；8.K型熱電偶；9.支撐架。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。