[實用新型]用于晶圓干燥工藝中的高純氮氣加熱器有效
| 申請號： | 201920384600.0 | 申請日： | 2019-03-25 |
| 公開（公告）號： | CN209819883U | 公開（公告）日： | 2019-12-20 |
| 發明（設計）人： | 王靜強;徐福興 | 申請（專利權）人： | 昆山基侑電子科技有限公司 |
| 主分類號： | F24H3/08 | 分類號： | F24H3/08;F24H9/18;F24H9/20;F26B21/14;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石英 高純氮氣 螺旋氣管 加熱 加熱器 碳素加熱器 殼體內部 氮氣 石英殼體 進氣管 體內 本實用新型 氮氣用量 干燥工藝 一端連接 供應量 加熱量 進入腔 排氣管 晶圓 監測 | ||
【權利要求書】：
1.用于晶圓干燥工藝中的高純氮氣加熱器，其特征在于，包括：
整體焊接的石英殼體，其具有進氣管和排氣管；
安裝于石英殼體內部的石英螺旋氣管，其一端連接所述進氣管，另一端位于所述石英殼體內；
碳素加熱器，安裝于所述石英殼體內部，用于對高純氮氣加熱，所述碳素加熱器的外圍設置有密封包覆加熱絲的石英管；
K型熱電偶，安裝于所述石英殼體內部，用于監測高純氮氣的溫度。
2.根據權利要求1所述的用于晶圓干燥工藝中的高純氮氣加熱器，其特征在于，所述碳素加熱器為U型，安裝在所述石英螺旋氣管的中間孔內。
3.根據權利要求1所述的用于晶圓干燥工藝中的高純氮氣加熱器，其特征在于，所述進氣管和排氣管的管內壁上設置有環形卡槽。
4.根據權利要求1所述的用于晶圓干燥工藝中的高純氮氣加熱器，其特征在于，所述石英殼體內部焊接有容納K型熱電偶的石英套管。
5.根據權利要求1所述的用于晶圓干燥工藝中的高純氮氣加熱器，其特征在于，所述石英殼體內部設置有支撐所述石英螺旋氣管的石英支撐塊。
6.根據權利要求1所述的用于晶圓干燥工藝中的高純氮氣加熱器，其特征在于，所述石英殼體的外部設置有不銹鋼罩殼，罩殼與石英殼體之間填充有保溫棉。
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