[實用新型]一種用于硅棒定向的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920379205.3
• 申請日: 2019-03-22
• 公開（公告）號: CN210116061U
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 東野廣俊;張笑笑;盛東營
• 申請（專利權(quán)）人: 青島高測科技股份有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/00
• 代理公司: 北京同輝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11357
• 代理人: 張明利

本實用新型涉及一種用于硅棒定向的裝置，包括X射線檢測裝置和固設(shè)在X射線檢測裝置下方的進給裝置，所述進給裝置包括固定座和進給滑板，所述進給滑板的下表面的兩側(cè)設(shè)有滑軌槽，且固定座上固設(shè)有與所述進給滑板相配合的滑軌，所述滑軌之間安裝有與所述進給滑板相固定的絲杠，所述絲杠與驅(qū)動裝置連接，X射線檢測裝置可隨進給滑板在滑軌上移動，具有移動靈活、定向精準的特點。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于半導(dǎo)體行業(yè)硅棒檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體地說涉及一種用于硅棒定向的裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體滾圓機對硅棒進行滾圓磨削時，除了對硅棒進行粗磨、精磨加工外，還需要對硅棒磨OF面或開V槽，為下道工序做準備。而OF面或V槽的加工位置需要通過對硅棒定向來實現(xiàn)。因此，怎樣實現(xiàn)對硅棒的精準定向是我們需要解決的問題。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的種種不足，現(xiàn)提出一種能夠?qū)⒐璋艟珳识ㄏ虻难b置。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種用于硅棒定向的裝置，包括X射線檢測裝置和固設(shè)在X射線檢測裝置下方的進給裝置，所述進給裝置包括固定座和進給滑板，所述進給滑板的下表面的兩側(cè)設(shè)有滑軌槽，且固定座上固設(shè)有與所述進給滑板相配合的滑軌，所述滑軌之間安裝有與所述進給滑板相固定的絲杠，所述絲杠與驅(qū)動裝置連接，X射線檢測裝置可隨進給滑板在滑軌上移動。

進一步，所述X射線檢測裝置包括檢測箱，所述檢測箱內(nèi)安裝有微安表，所述檢測箱的一側(cè)固設(shè)有檢測板，所述檢測板自上到下依次安裝X射線探測器和X射線發(fā)射管，且所述檢測板的外圍安裝有探頭保護罩以保護X射線探測器和X射線發(fā)射管。

進一步，所述驅(qū)動裝置為電機，所述絲杠通過支撐座與所述固定座相固定，且其一端與電機輸出端相連接。

進一步，所述電機通過電機安裝板與所述固定座相固定，所述電機安裝板上設(shè)有供電機輸出端貫穿的通孔，所述電機輸出端貫穿通孔后與所述電機安裝板通過螺栓固定。

進一步，所述進給滑板與絲杠相平行的兩側(cè)安裝有防護板，且所述電機的外側(cè)安裝有電機防護罩。

進一步，所述進給滑板與所述電機護罩之間安裝有第一風(fēng)琴護罩，且其與固定座遠離電機的一端之間安裝有第二風(fēng)琴護罩，用以防護所述滑軌與進給絲杠。

進一步，所述進給裝置固設(shè)在檢測支架上，所述固定座的下表面與檢測裝置的上表面固定連接，所述檢測支架的縱截面為三角形。

本實用新型的有益效果是：

1、X射線檢測裝置安裝在檢測滑板上，進給滑板通過電機帶動絲杠實現(xiàn)運動，以滿足不同硅棒尺寸、不同晶向的定向需求。

2、進給滑板的兩側(cè)在于滑軌一致的方向上安裝有第一風(fēng)琴護罩和第二風(fēng)琴護罩，同時，進給滑板與絲杠相平行的兩側(cè)安裝有防護板，能夠有效的保護絲杠和進給滑板，防止灰塵以及硅棒加工過程中的費屑進入到進給滑板以及滑軌內(nèi)，有效的保護進給裝置，延長設(shè)備的使用壽命。

3、電機通過電機安裝板與固定座通過螺栓有效的固定，防止在工作過程中電機的位移，提高設(shè)備的精確性。

4、X射線檢測裝置包括微安表、X射線探測管和X射線發(fā)射管，結(jié)構(gòu)簡單，是硅棒定向的核心部件，其定向精準，為后續(xù)OF面或V槽的加工位置提供可靠依據(jù)。

5、X射線探測管探頭和X射線發(fā)射管外設(shè)有探頭保護罩，能夠有效的保護X射線探測管探頭和X射線發(fā)射管。

附圖說明

圖1是本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是進給裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是進給裝置的另一結(jié)構(gòu)示意圖；