[實用新型]一種紅外玻璃缺陷顯微檢測系統有效
| 申請號： | 201920378843.3 | 申請日： | 2019-03-25 |
| 公開（公告）號： | CN209821085U | 公開（公告）日： | 2019-12-20 |
| 發明（設計）人： | 鄭軼;馮齡 | 申請（專利權）人： | 成都諾為光科科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 51214 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 | 代理人： | 韓雪 |
| 地址： | 610041 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半透半反射鏡片 變倍顯微鏡 紅外玻璃 樣品放置 紅外相機 顯微檢測 本實用新型 長工作距離 照明光源 檢測端 物鏡 光線通過 深度測量 微觀缺陷 系統結構 傳遞 可視化 缺陷點 反射 成像 體內 檢測 觀察 | ||
1.一種紅外玻璃缺陷顯微檢測系統，其特征在于，包括樣品放置端(1)和檢測端(2)，樣品放置端(1)用于樣品的放置，以便樣品的檢測；檢測端(2)包括照明光源(3)、半透半反射鏡片(4)、紅外相機(5)、變倍顯微鏡(6)和LWD長工作距離物鏡(7)，紅外相機(5)與變倍顯微鏡(6)連接，變倍顯微鏡(6)與半透半反射鏡片(4)連接，半透半反射鏡片(4)與LWD長工作距離物鏡(7)連接，照明光源(3)光線通過半透半反射鏡片(4)傳遞至樣品放置端(1)，樣品放置端(1)反射出的光線經半透半反射鏡片(4)、變倍顯微鏡(6)傳遞至紅外相機(5)成像。
2.如權利要求1所述的紅外玻璃缺陷顯微檢測系統，其特征在于，所述半透半反射鏡片(4)采用50％光線透射，50％光線反射設置。
3.如權利要求2所述的紅外玻璃缺陷顯微檢測系統，其特征在于，所述樣品放置端(1)包括樣品夾持裝置(8)和位移臺，位移臺帶動樣品夾持裝置(8)移動。
4.如權利要求3所述的紅外玻璃缺陷顯微檢測系統，其特征在于，所述位移臺為第一電動位移臺(9)，第一電動位移臺(9)可支持樣品夾持裝置(8)在豎直方向和水平方向移動。
5.如權利要求4所述的紅外玻璃缺陷顯微檢測系統，其特征在于，所述第一電動位移臺(9)相對于檢測端(2)，僅可上下和左右移動，檢測端(2)還包括有用于支持檢測端(2)移動的第二電動位移臺(10)，第二電動位移臺(10)相對于樣品放置端(1)僅可前后移動。
6.如權利要求2或5所述的紅外玻璃缺陷顯微檢測系統，其特征在于，所述紅外玻璃缺陷顯微檢測系統還包括自動識別控制系統，自動識別控制系統與樣品放置端(1)信號連接，以實現紅外玻璃缺陷顯微檢測系統對紅外玻璃缺陷點進行自動識別。
7.如權利要求6所述的紅外玻璃缺陷顯微檢測系統，其特征在于，所述自動識別控制系統還與檢測端(2)信號連接，以實現紅外玻璃缺陷顯微檢測系統對紅外玻璃缺陷點的深度進行測量。
8.如權利要求1所述的紅外玻璃缺陷顯微檢測系統，其特征在于，所述照明光源(3)與半透半反射鏡片(4)通過光纖(11)連接。
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