[實用新型]組合式靶件

有效

• 申請號: 201920364059.7
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN209619440U
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 錢鐵威
• 申請（專利權）人: 北京中百源國際科技創新研究有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 李宏偉

本實用新型提出了一種組合式靶件，包括靶柱和安裝架，所述的安裝架包括上下間隔設置的上安裝架和下安裝架，上安裝架包括相互間隔設置的齒輪三和齒輪四，齒輪三和齒輪四上連接有環形的鉸鏈一，下安裝架包括相互間隔設置的齒輪五和齒輪六，齒輪五和齒輪六上連接有環形的鉸鏈二，齒輪三與齒輪五聯動連接，還包括驅動齒輪三轉動的驅動裝置三，靶柱設置在上安裝架和下安裝架之間，靶柱的上端與鉸鏈一連接，靶柱的下端與鉸鏈二連接，靶柱設有若干個，該若干個靶柱在鉸鏈一周向方向上均勻排列；所述的靶柱包括管形的靶體、管形的承載體及安裝柱，承載體套設在安裝柱上，靶體套設在承載體上，所述的承載體的內部設有冷卻腔體。

技術領域

本實用新型涉及一種組合式靶件。

背景技術

靶可以理解為，表示陰極濺射系統中被濺射的材料。過去所使用的大部分濺射靶是構造為呈圓形的或呈矩形的所謂的平面靶。然而平面靶具有如下缺點：構成該平面靶的材料的僅約30％到40％得到有效濺射，其有效利用率低，使用壽命短。且目前使用的靶都是單個的靶體，而為了得到大量的濺射源，常會對照射束來進行優化設計，但是對照射束的優化往往會涉及到高成本和高難度的問題。

實用新型內容

針對背景技術中指出的問題，本實用新型提出一種組合式靶件，其由多個單體靶組合而成，并能進行多方向的運動，且其內部配置有冷卻結構，不但能低成本的獲取大量的濺射源，而且提高了靶的利用率，延長了其使用壽命。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種組合式靶件，包括靶柱和安裝架，所述的安裝架包括上下間隔設置的上安裝架和下安裝架，上安裝架包括相互間隔設置的齒輪三和齒輪四，齒輪三和齒輪四上連接有環形的鉸鏈一，下安裝架包括相互間隔設置的齒輪五和齒輪六，齒輪五和齒輪六上連接有環形的鉸鏈二，齒輪三與齒輪五聯動連接，還包括驅動齒輪三轉動的驅動裝置三，靶柱設置在上安裝架和下安裝架之間，靶柱的上端與鉸鏈一連接，靶柱的下端與鉸鏈二連接，靶柱設有若干個，該若干個靶柱在鉸鏈一周向方向上均勻排列；

所述的靶柱包括管形的靶體、管形的承載體及安裝柱，承載體套設在安裝柱上，靶體套設在承載體上，所述的承載體的內部設有冷卻腔體，所述的承載體上設有冷卻液進口和冷卻液出口，冷卻液進口和冷卻液出口分別與冷卻腔體連通設置。

本實用新型還進一步設置為，所述的靶體可繞其中心軸線進行轉動。

本實用新型還進一步設置為，所述的承載體與安裝柱固定連接，安裝柱上連接有驅動其轉動的驅動裝置一。

本實用新型還進一步設置為，所述的承載體與安裝柱形成可轉動連接，還包括一驅動承載體轉動的驅動機構。

本實用新型還進一步設置為，所述的驅動機構包括齒輪一、齒輪二、驅動裝置二，所述的齒輪一與承載體同軸且聯動設置，齒輪二與齒輪一嚙合，驅動裝置二與齒輪二連接用于驅動齒輪二轉動。

本實用新型還進一步設置為：所述的安裝架能前、后、左、右、上、下方向進行位置調節，所述的安裝架能繞其中心軸線進行轉動。

本實用新型還進一步設置為，還包括固定板，所述的固定板設置在安裝架的上方，齒輪三和齒輪四與固定板形成轉動連接，齒輪三與齒輪五通過中心柱一聯動連接，齒輪四與齒輪六通過中心柱二聯動連接，所述的驅動裝置三設置在固定板上。

本實用新型還進一步設置為，所述的固定板上方設有滑桿一、滑桿二，滑桿一與滑桿二相互垂直設置，滑桿一與滑桿二形成滑動配合，滑桿二能沿滑桿一長度方向滑動，滑桿一上設有驅動滑桿二移動的驅動裝置四，固定板與滑桿二滑動連接，固定板可沿滑桿二長度方向移動，滑桿二上設有驅動所述的固定板滑動的驅動裝置五；還包括固定座，所述的滑桿一固定連接在固定座的下側，固定座上連接有驅動其轉動的驅動裝置六，固定座上連接有驅動其上下移動的驅動裝置七。