[實用新型]靶

有效

• 申請號: 201920364025.8
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN209619439U
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 錢鐵威
• 申請（專利權）人: 北京中百源國際科技創新研究有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 李宏偉

本實用新型提出了一種靶，包括管形的靶體、管形的承載體及安裝柱，承載體套設在安裝柱上，靶體套設在承載體上，所述的承載體的內部設有冷卻腔體，所述的承載體上設有冷卻液進口和冷卻液出口，冷卻液進口和冷卻液出口分別與冷卻腔體連通設置，所述的靶體可繞其中心軸線進行轉動，所述的靶體可沿其中心軸線方向進行移動。

技術領域

本實用新型涉及一種靶。

背景技術

靶可以理解為，表示陰極濺射系統中被濺射的材料。過去所使用的大部分濺射靶是構造為呈圓形的或呈矩形的所謂的平面靶。然而平面靶具有如下缺點：構成該平面靶的材料的僅約30％到40％得到有效濺射，其有效利用率低，使用壽命短。

實用新型內容

針對背景技術中指出的問題，本實用新型提出一種靶，該整體為管形，并能進行轉動和移動，且其內部配置有冷卻結構，提高了靶的利用率，延長了其使用壽命。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種靶，包括管形的靶體、管形的承載體及安裝柱，承載體套設在安裝柱上，靶體套設在承載體上，所述的承載體的內部設有冷卻腔體，所述的承載體上設有冷卻液進口和冷卻液出口，冷卻液進口和冷卻液出口分別與冷卻腔體連通設置。

本實用新型還進一步設置為，所述的靶體可繞其中心軸線進行轉動。

本實用新型還進一步設置為，所述的承載體與安裝柱固定連接，安裝柱上連接有驅動其轉動的驅動裝置一。

本實用新型還進一步設置為，所述的承載體與安裝柱形成可轉動連接，還包括一驅動承載體轉動的驅動機構。

本實用新型還進一步設置為，所述的驅動機構包括齒輪一、齒輪二、驅動裝置二，所述的齒輪一與承載體同軸且聯動設置，齒輪二與齒輪一嚙合，驅動裝置二與齒輪二連接用于驅動齒輪二轉動。

本實用新型還進一步設置為，所述的靶體可沿其中心軸線方向進行移動。

本實用新型還進一步設置為，所述的承載體與安裝柱固定連接，安裝柱上連接有牽引其沿其軸線方向移動的牽引機構一。

本實用新型還進一步設置為，所述的承載體與安裝柱在安裝柱軸線方向形成滑動連接，還包括牽引機構二，牽引機構二與承載體連接用于牽引承載體在安裝柱上滑動。

一種靶，包括管形的靶體和安裝柱，靶體套設在安裝柱上，所述的靶體可繞其中心軸線進行轉動，所述的靶體可沿其中心軸線方向進行移動。

本實用新型的有益效果：

本實用新型提供的靶，其結構為管形，使用時通過對管形靶進行自轉和上下移動的調節，使靶的表面能獲得更均勻的蝕刻效果，且通過調節靶體的位置蝕刻區域基本能覆蓋整個靶的表面，并在承載體上配置冷卻結構，使蝕刻時產生的熱量能得到快讀的冷卻，提高了靶材的利用率，延長了其使用壽命。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的結構示意圖；

圖3為本實用新型的結構示意圖；

圖4為本實用新型的結構示意圖；

圖5為本實用新型的結構示意圖；

圖6為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式