[實用新型]盤管式恒溫循環槽

有效

• 申請號: 201920361434.2
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN209810783U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 王靜強;徐福興
• 申請（專利權）人: 昆山基侑電子科技有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型為了解決現有的循環槽的密封性達不到完全隔絕化學藥劑的效果，提供了一種包括槽體、盤管、鐵氟龍槽蓋和液壓缸的盤管式恒溫循環槽，槽體于開口處設置有密封墊，鐵氟龍槽蓋采用轉軸安裝于槽體頂部，液壓缸作為動力源帶動鐵氟龍槽蓋旋轉；槽體由外槽體和石英內槽體組成，石英內槽體安裝于外槽體內，盤管安裝于石英內槽體內，盤管的兩個管口分別與外部恒溫源的進水口和出水口連通。本實用新型采用液壓缸帶動鐵氟龍槽蓋打開和關閉，實現了槽蓋的一鍵開關功能，液壓缸將槽蓋緊壓在密封墊上，能有效隔絕槽內化學藥劑散出，保護操作人員安全。

技術領域

本實用新型涉及晶圓清洗設備技術領域，特別是指用于承裝清洗溶液的盤管式恒溫循環槽。

背景技術

盤管式恒溫循環槽以冷熱恒溫機作為制冷和加熱的高精度恒溫源，恒溫液體循環流動于盤管對槽內的清洗溶液進行冷熱交換實現恒溫。晶圓清洗使用的某些化學藥劑具有揮發性，嚴重危害操作人員的身體健康，循環槽需要有極佳的密封性能去阻隔揮發的化學藥劑，但是現有的循環槽的密封性還達不到完全隔絕的效果，還需要進一步改進。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：如何提高盤管式恒溫循環槽的密封性能，使其能夠完全阻隔揮發的化學藥劑。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案如下：

盤管式恒溫循環槽，包括槽體、盤管、鐵氟龍槽蓋和液壓缸，所述槽體于開口處設置有密封墊，所述鐵氟龍槽蓋采用轉軸安裝于所述槽體頂部，所述液壓缸作為動力源帶動所述鐵氟龍槽蓋旋轉；

所述槽體由外槽體和石英內槽體組成，所述石英內槽體安裝于所述外槽體內，所述盤管安裝于所述石英內槽體內，所述盤管的兩個管口分別與外部恒溫源的進水口和出水口連通。

優選的，所述鐵氟龍槽蓋與所述轉軸固連，所述液壓缸的桿件與所述轉軸固定，其缸體采用鉸接方式固定。

優選的，所述液壓缸采用純水液壓水缸。

優選的，所述鐵氟龍槽蓋和所述槽體共同安裝有一組以上的近接式光電開關。

優選的，所述外槽體的內側設置有一圈具有凹槽的掛臺，所述石英內槽體的頂部向外翻折兩側形成與所述凹槽配合使用的掛鉤。

優選的，所述密封墊的底部壓接在所述掛鉤頂部。

優選的，所述外槽體采用PP材質。

優選的，安裝于所述石英內槽體內用于測溫的元件采用PFA包覆式PT-100型熱電偶。

優選的，所述外槽體與所述石英內槽體之間填充有隔熱保溫棉。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1.本實用新型采用液壓缸帶動鐵氟龍槽蓋打開和關閉，實現了槽蓋的一鍵開關功能，液壓缸將槽蓋緊壓在密封墊上，能有效隔絕槽內化學藥劑散出，保護操作人員安全；

2.本實用新型將槽體解構成內外兩個槽體，石英內槽體可依清洗件尺寸訂制，減少了化學藥劑浪費；

3.用于測溫的PFA包覆式PT-100型熱電偶搭配溫控器及SCR(電力調整期)使用,可精確控溫于正負1°；

4.石英內槽體與外槽體間填充隔熱保溫棉，確保升溫溫度不流失；

5.近接式光電開關與純水液壓水缸配合使用，可二次確認水缸的磁性開關動作，保證了槽蓋的密封性。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1是實施例一中公開的盤管式恒溫循環槽的立體圖；