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[實(shí)用新型]貼膜裝置有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201920343838.9 申請(qǐng)日: 2019-03-18
公開(公告)號(hào): CN209747459U 公開(公告)日: 2019-12-06
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 王建勛;謝軍 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 廣東思沃精密機(jī)械有限公司
主分類號(hào): H01L21/67 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 44414 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人: 張全文<國際申請(qǐng)>=<國際公布>=<進(jìn)入
地址: 523000 廣東省東莞市松*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 壓膜 上下料 晶圓 機(jī)械手 驅(qū)動(dòng)組件 干膜 壓緊組件 臺(tái)移動(dòng) 下料位置 本實(shí)用新型 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 人工上料 上料位置 施加壓力 貼膜裝置 便捷性 導(dǎo)軌 上料 貼覆 貼膜 下料 緊貼 取出
【權(quán)利要求書】:

1.貼膜裝置,其特征在于,包括第一壓膜臺(tái)、設(shè)于所述第一壓膜臺(tái)的壓緊組件、壓膜導(dǎo)軌、與所述壓膜導(dǎo)軌滑動(dòng)連接且與所述第一壓膜臺(tái)相對(duì)應(yīng)的第二壓膜臺(tái)、用于驅(qū)動(dòng)所述第二壓膜臺(tái)沿所述壓膜導(dǎo)軌滑動(dòng)的上下料驅(qū)動(dòng)組件、以及用于帶動(dòng)所述第一壓膜臺(tái)相對(duì)所述第二壓膜臺(tái)移動(dòng)的壓膜驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);所述壓緊組件位于所述第一壓膜臺(tái)與所述第二壓膜臺(tái)之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜裝置,其特征在于,還包括若干沿所述壓膜導(dǎo)軌的長度方向分布的位置傳感器,所述第二壓膜臺(tái)上設(shè)有若干用于觸發(fā)所述位置傳感器的觸發(fā)片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜裝置,其特征在于,所述壓膜導(dǎo)軌開設(shè)有滑動(dòng)凹槽,所述第二壓膜臺(tái)上設(shè)有滑動(dòng)塊,所述滑動(dòng)塊上設(shè)有位于所述滑動(dòng)凹槽的滑動(dòng)凸起。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的貼膜裝置,其特征在于,所述壓膜導(dǎo)軌的兩端設(shè)有用于與所述滑動(dòng)塊相抵接的限位擋板。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜裝置,其特征在于,所述壓膜驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與所述第一壓膜臺(tái)相連的壓膜升降桿、與所述壓膜升降桿遠(yuǎn)離所述第一壓膜臺(tái)的一端相連的壓膜升降板、活動(dòng)端與所述壓膜升降板相連的壓膜升降氣缸、以及與所述壓膜升降氣缸的固定端相連的壓膜固定板。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜裝置,其特征在于,還包括設(shè)于所述第二壓膜臺(tái)且用于與所述第一壓膜臺(tái)相接觸的密封圈、真空泵、以及與所述真空泵相連的真空管;所述第二壓膜臺(tái)開設(shè)有真空孔,所述真空孔與所述真空管相通,所述真空孔位于所述密封圈的邊界范圍內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的貼膜裝置,其特征在于,所述第一壓膜臺(tái)具有第一加熱腔,所述第一加熱腔內(nèi)設(shè)有第一加熱組件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的貼膜裝置,其特征在于,所述第一加熱組件包括第一加熱件、與所述第一加熱件靠近所述第二壓膜臺(tái)的一側(cè)相連的第一導(dǎo)熱件、以及與所述第一加熱件遠(yuǎn)離所述第一導(dǎo)熱件的一側(cè)相連的第一隔熱件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的貼膜裝置,其特征在于,所述第二壓膜臺(tái)具有第二加熱腔,所述第二加熱腔內(nèi)設(shè)有第二加熱組件。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的貼膜裝置,其特征在于,所述第二加熱組件包括第二加熱件、與所述第二加熱件靠近所述第一壓膜臺(tái)的一側(cè)相連的第二導(dǎo)熱件、以及與所述第二加熱件遠(yuǎn)離所述第二導(dǎo)熱件的一側(cè)相連的第二隔熱件。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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