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[實用新型]放膜裝置有效

專利信息
申請號: 201920343837.4 申請日: 2019-03-18
公開(公告)號: CN210026297U 公開(公告)日: 2020-02-07
發明(設計)人: 王建勛;謝軍 申請(專利權)人: 廣東思沃精密機械有限公司
主分類號: B29C63/02 分類號: B29C63/02;B32B38/10
代理公司: 44414 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 代理人: 張全文
地址: 523000 廣東省東莞市松*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 膜組件 升降板 升降桿 升降驅動件 上升運動 晶圓 升降驅動組件 固定板 干膜 本實用新型 輸出端相連 放膜裝置 距離移動 貼膜位置 軸線方向 滑動座 膜連接 同步的 觸碰 偏離 移動
【權利要求書】:

1.放膜裝置,其特征在于,包括送膜滑動座、用于分離干膜與底膜的分膜組件、以及設于所述送膜滑動座且用于帶動所述分膜組件沿豎直方向運動的分膜升降驅動組件;所述分膜升降驅動組件包括與所述送膜滑動座相連的分膜連接桿、與所述分膜連接桿相連的分膜固定板、貫穿所述送膜滑動座且與所述送膜滑動座滑動連接的分膜升降桿、與所述分膜升降桿相連的分膜升降板、以及設于所述分膜固定板的分膜升降驅動件;所述分膜組件與所述分膜升降桿遠離所述分膜升降板的一端相連,所述分膜升降板與所述分膜升降驅動件的輸出端相連。

2.根據權利要求1所述的放膜裝置,其特征在于,所述送膜滑動座開設有第一送膜讓位孔,所述分膜升降桿貫穿所述第一送膜讓位孔并與所述分膜組件相連。

3.根據權利要求1所述的放膜裝置,其特征在于,所述分膜升降板開設有第二送膜讓位孔,所述分膜連接桿貫穿所述第二送膜讓位孔。

4.根據權利要求1所述的放膜裝置,其特征在于,所述分膜組件包括分膜框體、與所述分膜框體轉動連接的送膜張緊輥、以及與所述分膜框體轉動連接的分膜輥。

5.根據權利要求4所述的放膜裝置,其特征在于,所述送膜滑動座上設有分膜安裝豎桿,所述分膜安裝豎桿上設有分膜位置傳感器,所述分膜框體上設有用于觸發所述分膜位置傳感器的分膜觸發片。

6.根據權利要求1所述的放膜裝置,其特征在于,所述分膜升降驅動件為設于所述分膜固定板的分膜升降驅動氣缸。

7.根據權利要求1所述的放膜裝置,其特征在于,還包括與所述送膜滑動座滑動連接的送膜滑軌、以及用于驅動所述送膜滑動座滑動的送膜滑動驅動組件。

8.根據權利要求1-7任一項所述的放膜裝置,其特征在于,所述送膜滑動座上設有用于供應原料膜的原料膜供應組件、以及設于送膜滑動座且用于收卷底膜的底膜收卷組件;所述放膜裝置還包括與所述原料膜供應組件相配合的廢膜收卷組件。

9.根據權利要求8所述的放膜裝置,其特征在于,還包括與所述原料膜供應組件相配合的送膜輔助機構;所述送膜輔助機構包括輔助安裝座、與所述輔助安裝座相連的輔助連接桿、與所述輔助連接桿相連的輔助固定板、貫穿所述輔助安裝座且與所述輔助安裝座滑動連接的輔助升降桿、與所述輔助升降桿的一端相連的輔助升降座、與所述輔助升降桿的另一端相連的輔助升降板、設于所述輔助升降座的第一輔助導輥、以及設于所述輔助固定板且用于帶動所述輔助升降板沿所述輔助升降桿的軸線方向運動的輔助升降驅動件。

10.根據權利要求9所述的放膜裝置,其特征在于,所述輔助升降座上設有相對設置的兩個拉平組件,所述拉平組件包括設于所述輔助升降座的拉平導軌、與所述拉平導軌滑動連接的拉平滑塊、用于驅動所述拉平滑塊滑動的拉平驅動件、設于所述拉平滑塊的拉平氣缸、與所述拉平氣缸的活動端相連且與所述第一輔助導輥相配合的拉平壓板。

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