[實(shí)用新型]送膜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920343781.2
• 申請(qǐng)日: 2019-03-18
• 公開（公告）號(hào): CN210029360U
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東思沃精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): B65H16/00
• 分類號(hào): B65H16/00;B65H18/08;B65H23/26;B65H23/038;H01L21/67;B29C63/02
• 代理公司: 44414 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 張全文

本實(shí)用新型公開了一種送膜裝置，包括送膜滑軌、送膜滑動(dòng)座、送膜滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件、原料膜供應(yīng)組件、分膜組件、底膜收卷組件、以及廢膜收卷組件；分膜組件包括分膜框體、送膜張緊輥、以及分膜輥。送膜滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)送膜滑動(dòng)座沿送膜滑軌移動(dòng)使得分膜組件進(jìn)入貼膜加工腔，分膜組件離開貼膜加工腔的過程中干膜不會(huì)相對(duì)貼膜加工腔移動(dòng)，因此干膜在貼膜加工腔內(nèi)完成與底膜的分離，當(dāng)送膜滑動(dòng)座上的分膜組件完全離開貼膜加工腔后，貼膜加工腔內(nèi)的干膜均完成了與底膜的分離，此時(shí)第一壓膜臺(tái)和第二壓膜臺(tái)立即動(dòng)作將干膜與晶圓貼合，減少了干膜與底膜分離后移動(dòng)至貼膜加工腔的時(shí)間，避免了干膜上膠水的硬化，提升了干膜與晶圓的粘接效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及貼膜設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種送膜裝置。

背景技術(shù)

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

現(xiàn)有的如晶圓等產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，需要對(duì)成品進(jìn)行貼膜處理，通常為干膜貼附于晶圓表面，卷繞的原料膜上的干膜需要與底膜脫離后才可進(jìn)行貼膜，與底膜脫離的干膜在與晶圓粘接之前容易固化，粘接度降低，進(jìn)而導(dǎo)致貼膜效果差。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種送膜裝置，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中，干膜與晶圓粘接效果差的問題。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

送膜裝置，包括送膜滑軌、與所述送膜滑軌滑動(dòng)連接的送膜滑動(dòng)座、用于驅(qū)動(dòng)所述送膜滑動(dòng)座滑動(dòng)的送膜滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件、設(shè)于所述送膜滑動(dòng)座且用于供應(yīng)原料膜的原料膜供應(yīng)組件、設(shè)于所述送膜滑動(dòng)座且用于分離干膜與底膜的分膜組件、設(shè)于送膜滑動(dòng)座且用于收卷底膜的底膜收卷組件、以及廢膜收卷組件；所述分膜組件包括分膜框體、與所述分膜框體轉(zhuǎn)動(dòng)連接的送膜張緊輥、以及與所述分膜框體轉(zhuǎn)動(dòng)連接的分膜輥。

進(jìn)一步地，所述送膜滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件包括送膜滑動(dòng)電機(jī)、與所述送膜滑動(dòng)電機(jī)傳動(dòng)連接的送膜滑動(dòng)絲杠軸、以及與所述送膜滑動(dòng)絲杠軸相配合的送膜滑動(dòng)絲杠螺母；所述送膜滑動(dòng)座與所述送膜滑動(dòng)絲杠螺母相連。

進(jìn)一步地，所述送膜滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件包括設(shè)于所述送膜滑動(dòng)座的齒條、與所述齒條相嚙合的齒輪、以及用于驅(qū)動(dòng)所述齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)。

進(jìn)一步地，所述送膜滑動(dòng)座上設(shè)有滑動(dòng)塊，所述滑動(dòng)塊與所述送膜滑軌滑動(dòng)連接。

進(jìn)一步地，所述送膜滑軌開設(shè)有滑動(dòng)槽，所述滑動(dòng)塊上設(shè)有位于所述滑動(dòng)槽內(nèi)的滑動(dòng)凸起。

進(jìn)一步地，所述送膜滑軌的端部設(shè)有用于阻擋所述送膜滑動(dòng)座的限位板。

進(jìn)一步地，所述原料膜供應(yīng)組件包括第一氣漲軸、以及用于驅(qū)動(dòng)所述第一氣漲軸轉(zhuǎn)動(dòng)的原料膜供應(yīng)驅(qū)動(dòng)件。

進(jìn)一步地，所述底膜收卷組件包括第二氣漲軸、以及用于驅(qū)動(dòng)所述第二氣漲軸轉(zhuǎn)動(dòng)的底膜收卷驅(qū)動(dòng)件。

進(jìn)一步地，所述廢膜收卷組件包括第三氣漲軸、以及用于驅(qū)動(dòng)所述第三氣漲軸轉(zhuǎn)動(dòng)的廢膜收卷驅(qū)動(dòng)件。

進(jìn)一步地，所述分膜框體上設(shè)有調(diào)節(jié)組件；所述調(diào)節(jié)組件包括與所述分膜框體相連的調(diào)節(jié)框體、設(shè)于所述調(diào)節(jié)框體的調(diào)節(jié)導(dǎo)桿、與所述調(diào)節(jié)導(dǎo)桿滑動(dòng)連接的調(diào)節(jié)滑塊、設(shè)于所述調(diào)節(jié)滑塊的調(diào)節(jié)導(dǎo)輥、設(shè)于所述調(diào)節(jié)滑塊與所述調(diào)節(jié)導(dǎo)桿之間的調(diào)節(jié)彈性件、以及與所述調(diào)節(jié)框體螺紋連接且用于與所述調(diào)節(jié)滑塊相抵接的調(diào)節(jié)螺釘。

進(jìn)一步地，所述分膜框體于所述調(diào)節(jié)組件處開設(shè)有調(diào)節(jié)腰型孔，所述調(diào)節(jié)導(dǎo)輥的端部位于所述調(diào)節(jié)腰型孔內(nèi)。

進(jìn)一步地，所述送膜滑動(dòng)座上設(shè)有用于帶動(dòng)所述分膜組件沿豎直方向運(yùn)動(dòng)的分膜升降驅(qū)動(dòng)組件。