[實用新型]承載裝置

有效

• 申請號: 201920340062.5
• 申請日: 2019-03-18
• 公開（公告）號: CN209815145U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 李海衛;張鵬斌;張凌云;范鐸;陳魯
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91
• 代理公司: 11038 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 鄒丹

1.一種承載裝置，其特征在于，包括：

夾持組件(32)，包括安裝座(321)和翻轉機構(322)，所述安裝座(321)包括用于支撐待檢測物的支撐平面；所述翻轉機構(322)安裝于所述安裝座(321)，且所述翻轉機構(322)被構造為在夾持位置和非夾持位置之間切換；當所述翻轉機構(322)處于夾持位置，所述翻轉機構(322)的夾持面的上沿高于所述支撐平面，以夾持所述待檢測物；當所述翻轉機構(322)處于非夾持位置，所述翻轉機構(322)的夾持面的上沿低于所述支撐平面或者與所述支撐平面平齊，以離開所述待檢測物。

2.根據權利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述翻轉機構(322)包括：

驅動部(323)；以及

阻擋件(324)，與所述驅動部(323)驅動連接，所述阻擋件(324)被構造為在所述驅動部(323)的驅動下、在平放位置和豎起位置之間切換；其中，當所述阻擋件(324)處于豎起位置，所述翻轉機構(322)處于夾持位置；當所述阻擋件(324)處于平放位置，所述翻轉機構(322)處于非夾持位置。

3.根據權利要求2所述的承載裝置，其特征在于，所述驅動部(323)包括電機。

4.根據權利要求3所述的承載裝置，其特征在于，所述阻擋件(324)包括片狀的結構，所述阻擋件(324)與所述電機的輸出軸固定連接。

5.根據權利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述夾持組件(32)的數量為一個以上，所述承載裝置還包括：

連接件(33)，支撐各所述夾持組件(32)。

6.根據權利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述安裝座(321)被構造為用于支撐承載件(31)，且所述翻轉機構(322)被構造為當處于夾持位置時夾持所述承載件(31)；所述承載件(31)表面的邊緣包括直線段(311)，所述夾持組件(32)設于所述直線段(311)附近，所述夾持組件(32)用于夾持所述直線段(311)。

7.根據權利要求5所述的承載裝置，其特征在于，所述夾持組件(32)沿著所述連接件(33)的周向間隔設置有兩個或兩個以上。

8.根據權利要求1所述的承載裝置，其特征在于，還包括：

吸盤，用于吸附所述待檢測物的中部區域；

其中，所述安裝座(321)用于支撐待檢測物的邊緣。

9.根據權利要求8所述的承載裝置，其特征在于，所述吸盤包括定位凸起(331)，所述待檢測物設有定位凹槽(332)，所述定位凸起(331)與所述定位凹槽(332)卡合；或者，所述吸盤安裝有所述定位凹槽(332)，所述待檢測物設有所述定位凸起(331)，所述定位凸起(331)與所述定位凹槽(332)卡合。

10.根據權利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述待檢測物包括：

待吸附物，包括膠膜和貼于膠膜表面的晶圓(4)；以及

承載件(31)，用于承載所述膠膜的邊緣。