[實用新型]一種非球面光學元件的檢測裝置

有效

• 申請號: 201920321370.3
• 申請日: 2019-03-13
• 公開（公告）號: CN211651531U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 張斌;周威
• 申請（專利權）人: 茂萊(南京)儀器有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 李倩

1.一種非球面光學元件的檢測裝置，其特征在于：包括波前傳感器或干涉儀、分光鏡和硅基液晶，硅基液晶為反射型硅基液晶；波前傳感器或干涉儀發出的激光經光闌后照射到分光鏡上，經折射后射入硅基液晶中，光經過硅基液晶反射后再次通過分光鏡照射到非球面光學元件上，光經過非球面光學元件的反射后依次經過硅基液晶的反射和分光鏡的折射后進入波前傳感器或干涉儀中，形成的干涉圖像被波前傳感器或干涉儀中的顯示裝置接收。

2.根據權利要求1所述的非球面光學元件的檢測裝置，其特征在于：反射型硅基液晶包括上基板、下基板和位于上下基板之間的液晶層，其中，上基板為玻璃基板，下基板為CMOS基板，CMOS基板為涂有液晶硅的CMOS集成電路芯片，CMOS基板上表面涂覆有鋁層作為反射鏡；玻璃基板下設有ITO導電薄膜。

3.根據權利要求2所述的非球面光學元件的檢測裝置，其特征在于：還包括與硅基液晶連接的計算機；CMOS集成電路芯片含有驅動電路，計算機將每個像素所需要的外加電壓大小傳輸給CMOS集成電路芯片，CMOS集成電路芯片通過驅動電路驅動每個像素的電壓，從而得到每個像素所需要的相位。

4.一種非球面光學元件的檢測裝置，其特征在于：包括波前傳感器或干涉儀以及硅基液晶，硅基液晶為透射型硅基液晶；波前傳感器或干涉儀發出的激光經光闌后，從硅基液晶透射照射到非球面光學元件上，光經過非球面光學元件的反射后穿過硅基液晶進入波前傳感器或干涉儀中，形成的干涉圖像被波前傳感器或干涉儀中的顯示裝置接收。

5.根據權利要求4所述的非球面光學元件的檢測裝置，其特征在于：透射型硅基液晶包括玻璃基板、液晶層和CMOS基板，玻璃基板下設有ITO導電薄膜；其中，CMOS基板為涂有液晶硅的CMOS集成電路芯片，CMOS基板設置在液晶層的四周。

6.根據權利要求5所述的非球面光學元件的檢測裝置，其特征在于：還包括與硅基液晶連接的計算機；CMOS集成電路芯片含有驅動電路，計算機將每個像素所需要的外加電壓大小傳輸給CMOS集成電路芯片，CMOS集成電路芯片通過驅動電路驅動每個像素的電壓，從而得到每個像素所需要的相位。