[實(shí)用新型]太陽能電池硅片高效流轉(zhuǎn)系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920316979.1 | 申請日: | 2019-03-13 |
| 公開(公告)號: | CN209561360U | 公開(公告)日: | 2019-10-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 顧徐鋒;戴秋喜;潘加永 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州映真智能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)建林*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 頂片裝置 托齒 花籃 硅片 流轉(zhuǎn) 太陽能電池硅片 金屬舟 倒片 工位 托起 硅片轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu) 裝入 滿載 抓取 本實(shí)用新型 太陽能電池 兩側(cè)設(shè)置 生產(chǎn)效率 輸送機(jī)構(gòu) 輸送平臺 | ||
1.一種太陽能電池硅片高效流轉(zhuǎn)系統(tǒng),包括機(jī)架,其特征在于,在所述機(jī)架的中部設(shè)置有倒片工位,在所述倒片工位的兩側(cè)設(shè)置有花籃輸送機(jī)構(gòu)和舟輸送平臺,所述花籃輸送機(jī)構(gòu)用于輸送花籃至所述倒片工位或自所述倒片工位運(yùn)走花籃,所述舟輸送平臺用于運(yùn)送金屬舟至所述倒片工位或自所述倒片工位運(yùn)走金屬舟,在所述倒片工位上完成硅片在花籃與金屬舟之間的轉(zhuǎn)移;其中,
所述花籃輸送機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于所述倒片工位一側(cè)的進(jìn)籃輸送帶、出籃輸送帶和設(shè)置于所述倒片工位另一側(cè)的花籃回流區(qū),所述花籃回流區(qū)連通所述進(jìn)籃輸送帶和出籃輸送帶;
在所述倒片工位上設(shè)置有花籃托齒頂片裝置、舟托齒頂片裝置和硅片轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu),所述花籃托齒頂片裝置可上升或下降以向上托起滿載花籃內(nèi)的硅片或向下將硅片裝入空花籃內(nèi);所述舟托齒頂片裝置可上升或下降以向上托起滿載金屬舟內(nèi)的硅片或向下將硅片裝入空金屬舟內(nèi);所述硅片轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)用于抓取所述花籃托齒頂片裝置或舟托齒頂片裝置托起的硅片并轉(zhuǎn)移至舟托齒頂片裝置或花籃托齒頂片裝置上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片高效流轉(zhuǎn)系統(tǒng),其特征在于,在所述倒片工位上還設(shè)置有花籃硅片規(guī)整裝置和金屬舟硅片規(guī)整裝置,所述花籃硅片規(guī)整裝置設(shè)置于花籃托齒頂片裝置上方,包括氣缸及連接在氣缸活動端的規(guī)整板,氣缸可帶動所述規(guī)整板作用于花籃托齒頂片裝置上硅片的側(cè)部,以歸正花籃托齒頂片裝置上硅片的位置;所述金屬舟硅片規(guī)整裝置設(shè)置于舟托齒頂片裝置上方,其結(jié)構(gòu)與所述花籃硅片規(guī)整裝置的結(jié)構(gòu)類似。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片高效流轉(zhuǎn)系統(tǒng),其特征在于,所述進(jìn)籃輸送帶、出籃輸送帶均并排設(shè)置有兩條,所述花籃回流區(qū)包括多條回流輸送帶。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片高效流轉(zhuǎn)系統(tǒng),其特征在于,在所述舟輸送平臺上設(shè)置有舟翻轉(zhuǎn)裝置,所述舟翻轉(zhuǎn)裝置用于使金屬舟旋轉(zhuǎn)預(yù)定的角度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片高效流轉(zhuǎn)系統(tǒng),其特征在于,所述花籃托齒頂片裝置包括頂升電機(jī)和安裝在頂升電機(jī)活動端上的頂片板,在所述頂片板的頂部設(shè)置有多個(gè)托齒,所述托齒的位置與花籃內(nèi)的硅片放置位相對應(yīng);所述舟托齒頂片裝置與花籃托齒頂片裝置結(jié)構(gòu)類似,其上的多個(gè)托齒的位置與金屬舟內(nèi)的硅片設(shè)置位相對應(yīng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片高效流轉(zhuǎn)系統(tǒng),其特征在于,所述硅片轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩組。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片高效流轉(zhuǎn)系統(tǒng),其特征在于,所述硅片轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)包括依次連接的X軸移動組件、Y軸移動組件、Z軸移動組件和抓取組件,所述X軸移動組件、Y軸移動組件、Z軸移動組件可帶動所述抓取組件分別沿X軸方向、Y軸方向及Z軸方向運(yùn)行。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的太陽能電池硅片高效流轉(zhuǎn)系統(tǒng),其特征在于,所述X軸移動組件包括X軸驅(qū)動裝置和X軸支架,所述Y軸移動組件包括Y軸驅(qū)動裝置和Y軸支架,所述Z軸移動組件包括Z 軸驅(qū)動裝置和Z軸支架,所述X軸支架安裝在所述機(jī)架頂部,所述Y軸移動組件設(shè)置在所述X軸支架上,所述Z軸移動組件設(shè)置在所述Y軸支架上,所述抓取組件安裝在所述Z軸支架上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的太陽能電池硅片高效流轉(zhuǎn)系統(tǒng),其特征在于,所述抓取組件包括多個(gè)真空吸盤。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





