[實用新型]一種硅片原料的酸洗裝置

有效

• 申請號: 201920309809.0
• 申請日: 2019-03-12
• 公開（公告）號: CN209736202U
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發明（設計）人: 周建明
• 申請（專利權）人: 浙江明峰電子科技有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 11427 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 陳娟<國際申請>=<國際公布>=<進入國

本實用新型公開了一種硅片原料的酸洗裝置，包括清洗缸，所述清洗缸的底端通過軸承轉動安裝有轉動圈，轉動圈穿設有轉動桿，所述轉動桿的一端延伸至清洗缸內，所述轉動桿的一端固定連接有第一放置籃，第一放置籃的底部為板式結構，第一放置籃的內壁兩側均固定連接有豎直排布的放置墊板，所述第一放置籃的一側設有第二放置籃，第一放置籃和第二放置籃一起組成圓柱形結構，且第一放置籃和第二放置籃靠近放置墊板的兩側外壁均焊接有兩個連接塊，連接塊均開設有十字形的通孔，第二放置籃的連接塊的一側均固定安裝有保護殼，保護殼活動穿設有拉桿。本實用新型設計結構合理，操作簡單，使用方便，能夠方便清洗，而且清洗效果更好。

技術領域

本實用新型涉及硅片生產技術領域，尤其涉及一種硅片原料的酸洗裝置。

背景技術

半導體器件生產中硅片須經嚴格清洗。微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質，包括有機物和無機物。這些雜質有的以原子狀態或離子狀態，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴重影響少數載流子壽命和表面電導；堿金屬如鈉等，引起嚴重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等，會導致各種缺陷。現有的清洗裝置只要將硅片放在酸溶液中，進行靜置并且發生化學反應，由于靜置反應效率慢，而且不能很好讓污物從硅片表面脫落，如果采用刷洗又容易造成表面刮花影響質量。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中硅片酸洗不充分，而且容易刮花存在的缺點，而提出的一種硅片原料的酸洗裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種硅片原料的酸洗裝置，包括清洗缸，所述清洗缸的底端通過軸承轉動安裝有轉動圈，轉動圈穿設有轉動桿，所述轉動桿的一端延伸至清洗缸內，所述轉動桿的一端固定連接有第一放置籃，第一放置籃的底部為板式結構，第一放置籃的內壁兩側均固定連接有豎直排布的放置墊板，所述第一放置籃的一側設有第二放置籃，第一放置籃和第二放置籃一起組成圓柱形結構，且第一放置籃和第二放置籃靠近放置墊板的兩側外壁均焊接有兩個連接塊，連接塊均開設有十字形的通孔，第二放置籃的連接塊的一側均固定安裝有保護殼，保護殼活動穿設有拉桿，拉桿的桿體套設有彈簧，拉桿的桿體焊接有擋塊，且擋塊和彈簧均位于保護殼內，彈簧位于擋塊和保護殼的一端內壁之間，拉桿的一端穿過第二放置籃的連接塊延伸到另一側，且拉桿的一端固定連接有卡桿，且卡桿的一端還穿過第一放置籃的連接塊的通孔。

優選的，所述清洗缸的底端外壁焊接有四個支撐桿，四個支撐桿的一端共同固定安裝有座板，清洗缸的底端外壁和座板的頂端之間通過軸承轉動安裝有兩個雙向螺紋桿，雙向螺紋桿位于四個支撐桿之間，兩個雙向螺紋桿之間通過螺紋活動安裝有支撐板。

優選的，所述轉動圈的內孔為矩形結構，轉動桿的桿體為四棱柱結構，轉動桿與轉動圈的內孔相匹配，轉動桿的另一端通過軸承與支撐板的頂端轉動安裝，支撐板的底端固定安裝有第一電機，第一電機的輸出軸與轉動桿的另一端固定連接。

優選的，所述轉動圈的底端外壁固定安裝有第二電機，第二電機的輸出軸固定安裝有第一齒輪，其中一個雙向螺紋桿的桿體固定安裝有第二齒輪，第一齒輪與第二齒輪嚙合，兩個雙向螺紋桿的桿體均固定安裝有帶輪，帶輪之間通過皮帶連接，皮帶位于第一電機的下方。

本實用新型的有益效果是：通過設計的方便安裝拆卸的第一放置籃和第二放置籃，能夠將多個硅片分別插進兩個放置墊板之間的間隙內，從而硅片一層層放置，使得硅片不相互碰撞，在酸洗時第一放置籃和第二放置籃組成的圓柱形結構可以旋轉從而在酸洗時更充分，設計的雙向螺紋桿能夠驅動轉動桿上移，從而第一放置籃和第二放置籃推出清洗缸，方便取出清洗好的硅片；本設計結構合理，操作簡單，使用方便，能夠方便清洗，而且清洗效果更好。

附圖說明