[實用新型]一種倒置式X光管精密微調定位裝置

有效

• 申請號: 201920309541.0
• 申請日: 2019-03-12
• 公開（公告）號: CN209707414U
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發明（設計）人: 楊強;趙磊;敖海麒;劉軍;魏生斌;賴萬昌;胡青云;王磊;邵洋;翟娟
• 申請（專利權）人: 成都理工大學
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223
• 代理公司: 11246 北京眾合誠成知識產權代理有限公司
• 代理人: 苗艷榮<國際申請>=<國際公布>=<進入

本實用新型涉及一種倒置式X光管精密微調定位裝置，可將一體化X光管以及信號探測器進行精確定位。所述精密微調定位裝置包括底板1、五軸位移臺2、斜坡臺3、一體化X光管4、信號探測器固定器5、信號探測器6。本實用新型能輕松實現對X光管的各方向以及俯仰角度的調整，調整過程是通過五軸位移臺來實現的，調整精度高，調整完成后穩定性好、不易變化，整個裝置結構簡單，便于加工和拆卸。

技術領域

本實用新型屬于高精度微調定位技術領域，尤其涉及一種倒置式X光管精密微調定位裝置。

背景技術

微束微區熒光分析是進行物質成分顯微結構和元素含量定量分析相結合的新技術。該類儀器在進行樣品顯微觀察的時候，需要同時開展觀察點表面元素含量的定量分析。

現有的類似儀器是選擇專用顯微鏡結構，再設計專用的移動平臺，配合數控系統組成完整的儀器系統，這樣的成本非常高。實際上，光學顯微鏡是很多實驗室標配基礎設備之一，如果能夠在普通光學顯微鏡基礎上，通過安裝精密微調定位裝置，利用已有的載物臺、成像系統實現微束微區分析儀器的基本功能，能夠大大節約儀器的成本，提升設備的使用率。

其次，目前微束微區熒光分析系統，其成像物鏡位于觀測樣品上方。這樣受到載物臺與物鏡移動最大行程的限制，能夠觀測的樣品體積受到影響。

實用新型內容

本實用新型的目的在于解決上述現有技術存在的缺陷，提供一種倒置式X光管精密微調定位裝置，實現高精度微調對一體化X光管進行定位，實現X光管、物鏡以及信號探測器的中心軸線交匯于顯微鏡所觀察的樣本上。

本實用新型采用如下技術方案：

一種倒置式X光管精密微調定位裝置，其特征在于，包括底板1、五軸位移臺2、斜坡臺3、一體化X光管4、信號探測器固定器5、信號探測器6，五軸位移臺2的底部通過4個螺釘固定在底板1上，五軸位移臺2的頂部通過螺栓安裝有一個斜坡臺3，斜坡臺3包括中部的斜板和兩側的薄板，其中一側的薄板上開設有五個直徑相同的孔，孔中插入固定螺釘7，固定螺釘7將一體化X光管4頂在另一側的薄板上，一體化X光管4上安裝有信號探測器固定器5，信號探測器6安裝在信號探測器固定器5上。

作為本實用新型的優選，所述的斜坡臺3的中部的斜板的傾斜角度為10°。

作為本實用新型的優選，進一步的所述的信號探測器固定器5包括一個長方體，在長方體側面延伸出的一個小長方體，小長方體的上表面為傾斜度為30度的斜面，且此面的小長方體開設有孔，信號探測器6通過孔安裝于信號探測器固定器5上。

作為本實用新型的優選，進一步的所述的底板1上設置有多個用于固定一體化X光管精密微調定位裝置的通孔。

本實用新型的有益效果：

(1).調整過程是通過五軸位移臺的實現的，能輕松實現對一體化X光管的各方向與角度的調整。

(2).五軸位移臺導軌采用精密線性滾珠配合精磨鋼棒導軌，運動舒適，精度高。測微頭驅動三軸平移，彈簧復位，定量讀數，還能消除空回，俯仰和旋轉調整采用M6X0.25超細牙螺桿，高品質碟簧復位，穩定性特佳，調整完成后不易變化。

(3).本實用新型結構簡單，便于加工和拆裝。

(4).安裝的一體化X光管距離顯微鏡所觀察的樣品較近，能讓X射線更多的照射在樣品上。

(5).一體化光管從下部照射樣品表面。樣品只需貼近位移臺表面即可觀察，樣品上表面空間大小無限制。

附圖說明

圖1為本實用新型的主視圖；

圖2為本實用新型的側視圖；

圖3為本實用新型的俯視圖；