[實用新型]冷阱灌液氮裝置及冷阱有效
| 申請號： | 201920305688.2 | 申請日： | 2019-03-11 |
| 公開（公告）號： | CN209645884U | 公開（公告）日： | 2019-11-19 |
| 發明（設計）人： | 王志達;邵旭;袁守良 | 申請（專利權）人： | 吉林華微電子股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D8/00 | 分類號： | B01D8/00 |
| 代理公司： | 11371 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人： | 肖蘇宸<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址： | 132013 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣液分離器 閥口 冷阱 連通 本實用新型 低位閥口 高位閥口 回流水管 液氮裝置 三通閥 液氮 中位 漏斗 半導體加工工藝 冷卻設備 冷凝水 灌裝 堵住 出口 保證 | ||
1.一種冷阱灌液氮裝置，其特征在于，所述灌液氮裝置包括漏斗、氣液分離器、三通閥以及回流水管；
所述三通閥的三個閥口分別為高位閥口、中位閥口以及低位閥口，所述高位閥口與所述漏斗的出口連通，所述中位閥口與所述氣液分離器連通，所述低位閥口與所述回流水管連通；
所述氣液分離器的設置高度低于所述漏斗的出口位置，所述回流水管的設置高度低于所述氣液分離器的設置高度；所述氣液分離器能夠與冷阱連通；
向冷阱內灌裝液氮時，高位閥口、中位閥口打開，低位閥口關閉；冷阱液氮灌裝完成時，中位閥口、低位閥口打開，冷凝水通過中位閥口、低位閥口流入所述回流水管。
2.根據權利要求1所述的冷阱灌液氮裝置，其特征在于，所述灌液氮裝置還包括液氮法蘭，所述氣液分離器通過液氮法蘭與所述冷阱連通并固定。
3.根據權利要求1或2所述的冷阱灌液氮裝置，其特征在于，所述灌液氮裝置還包括排氣管，所述排氣管與所述氣液分離器連通。
4.根據權利要求3所述的冷阱灌液氮裝置，其特征在于，所述排氣管遠離所述氣液分離器的一端連接有彎頭，所述彎頭的出氣口的朝向避開灌裝液氮時的操作位。
5.根據權利要求1或2所述的冷阱灌液氮裝置，其特征在于，所述漏斗包括柱形段和連接在所述柱形段下部的倒錐形段；所述漏斗的進口設置在所述柱形段的頂部，所述漏斗的出口設置在所述倒錐形段的底部頂角位置。
6.根據權利要求5所述的冷阱灌液氮裝置，其特征在于，所述柱形段的頂部對應所述漏斗的進口設置有旋轉蓋，所述旋轉蓋上設置有缺口；
所述旋轉蓋能夠繞垂直于漏斗軸向的轉軸轉動，所述旋轉蓋轉動到所述缺口與所述柱形段的側壁對接時，所述漏斗的進口打開。
7.根據權利要求1或2所述的冷阱灌液氮裝置，其特征在于，所述漏斗內設置有過濾網。
8.根據權利要求1或2所述的冷阱灌液氮裝置，其特征在于，所述漏斗內設置有向下傾斜的隔板，所述隔板的上端與所述漏斗的一側側壁連接，且所述隔板的下端與漏斗的側壁間隔設置。
9.根據權利要求1或2所述的冷阱灌液氮裝置，其特征在于，所述漏斗的側壁的外周上設置有固定板。
10.一種冷阱，其特征在于，所述冷阱上設置有權利要求1-9任一項所述的冷阱灌液氮裝置。
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