[實(shí)用新型]多光束非相干空間合成用壓電驅(qū)動(dòng)變形鏡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920303683.6
• 申請(qǐng)日: 2019-03-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209514205U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 寧禹;范占斌;張明;何宇龍;孫全;關(guān)朝亮;鐵貴鵬;戴一帆;許曉軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)人民解放軍國(guó)防科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G02B26/08
• 分類號(hào): G02B26/08
• 代理公司: 長(zhǎng)沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 黃藝平

本實(shí)用新型申請(qǐng)公開(kāi)了一種多光束非相干空間合成用壓電驅(qū)動(dòng)變形鏡，包括支撐架、半圈夾具、蜂窩鏡體、壓電驅(qū)動(dòng)器和接電組件，所述半圈夾具緊固在所述支撐架上，所述蜂窩鏡體和所述接電組件分別置于所述半圈夾具前后端圈口內(nèi)，所述壓電驅(qū)動(dòng)器粘接于所述蜂窩鏡體背面，所述壓電驅(qū)動(dòng)器與所述接電組件電連接，所述半圈夾具由兩個(gè)半環(huán)閉合組成，所述半圈夾具的兩個(gè)連接端，至少一端為調(diào)節(jié)端，用于調(diào)節(jié)對(duì)所述蜂窩鏡體的夾持力。根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例的多光束非相干空間合成用壓電驅(qū)動(dòng)變形鏡具有結(jié)構(gòu)緊湊、安裝方便、形變范圍大、形變精度高和形變穩(wěn)定性好的特點(diǎn)，能提高對(duì)非相干空間合成激光系統(tǒng)改善光束質(zhì)量的能力。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及激光器及自適應(yīng)光學(xué)器件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多光束非相干空間合成用壓電驅(qū)動(dòng)變形鏡。

背景技術(shù)

固體激光器的輸出功率受到熱效應(yīng)、非線性效應(yīng)、光學(xué)元件表面質(zhì)量等多種因素的影響。將多臺(tái)激光器的輸出光束進(jìn)行合成可以獲得高功率激光輸出。光束合成方法主要可以分為三類：相干合成、譜合成和非相干合成。而非相干空間合成是非相干合成的主要方法之一，非相干空間合成就是通過(guò)一系列光束整形和變換，將多臺(tái)激光器發(fā)射的激光組合在一起輸出。這種合成技術(shù)能提高激光輸出總功率，但會(huì)影響輸出的光束質(zhì)量。應(yīng)用中，通常會(huì)采用自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)對(duì)輸出的光束進(jìn)行修復(fù)以改善光束質(zhì)量。

自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的變形鏡是非常重要的光學(xué)校正器件，其裝配方式直接影響到變形鏡的變形能力。一般的，用于多光束非相干空間合成的變形鏡裝配方式主要有鏡體邊緣緊支撐和局部點(diǎn)支撐。局部點(diǎn)支撐的變形鏡結(jié)構(gòu)松散、裝配難度大，占用空間較大，且?jiàn)A持力不可控導(dǎo)致鏡體穩(wěn)定性不高。鏡體邊緣緊支撐的變形鏡有較大的剛度，但由于支撐緊，存在鏡體形變受限以及夾持力大導(dǎo)致的鏡體易變形等問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有多光束非相干空間合成的變形鏡在裝配過(guò)程中夾持力不可控的問(wèn)題，從而導(dǎo)致的變形鏡形變不穩(wěn)定，光束合成質(zhì)量差的問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N多光束非相干空間合成用壓電驅(qū)動(dòng)變形鏡，通過(guò)設(shè)計(jì)夾持力可調(diào)的蜂窩鏡體的夾具，從而解決該問(wèn)題。

本申請(qǐng)?zhí)峁┑木唧w方案如下：

一種多光束非相干空間合成用壓電驅(qū)動(dòng)變形鏡，包括支撐架、半圈夾具、蜂窩鏡體、壓電驅(qū)動(dòng)器和接電組件，所述半圈夾具緊固在所述支撐架上，所述半圈夾具由緊固半環(huán)和調(diào)節(jié)半環(huán)閉合構(gòu)成前端圈口和后端圈口，所述蜂窩鏡體由所述半圈夾具夾緊固定在所述前端圈口內(nèi)，所述接電組件置于所述半圈夾具的后端圈口內(nèi)，所述半圈夾具的兩個(gè)連接端，至少一端為調(diào)節(jié)端，用于調(diào)節(jié)對(duì)所述蜂窩鏡體的夾持力；

所述蜂窩鏡體形狀與所述前端圈口貼合，所述蜂窩鏡體背面開(kāi)有多個(gè)蜂窩槽，所述蜂窩槽中部設(shè)置有凸臺(tái)，用于粘接壓電驅(qū)動(dòng)器；

所述壓電驅(qū)動(dòng)器包括壓電陶瓷板、驅(qū)動(dòng)電極和接地電極，所述接地電極和所述驅(qū)動(dòng)電極分別通過(guò)絲網(wǎng)印刷技術(shù)鍍于所述壓電陶瓷板兩側(cè)，且分別與所述接電組件電連接。

優(yōu)選地，所述半圈夾具的另一連接端為鉸鏈連接。

更進(jìn)一步地，系統(tǒng)還包括連接組件，所述連接組件由調(diào)節(jié)螺釘以及套裝在所述調(diào)節(jié)螺釘外的調(diào)節(jié)彈簧組成，所述半圈夾具調(diào)節(jié)端開(kāi)有閉合通孔，所述閉合通孔一端為沉頭孔，另一端為螺紋孔，所述調(diào)節(jié)螺釘?shù)男D(zhuǎn)端置于所述沉頭孔內(nèi)，另一端與所述螺紋孔螺紋扣接。

具體地，所述支撐架包括底板、固定螺釘、弧形卡套和緊固螺栓，所述緊固螺栓位于所述弧形卡套頂部，所述弧形卡套通過(guò)所述固定螺釘固裝在所述底板上，所述半圈夾具的緊固半環(huán)通過(guò)所述緊固螺栓緊固在所述弧形卡套內(nèi)。

具體地，所述弧形卡套由彈性材料制成，所述弧形卡套的開(kāi)口設(shè)置在 90度～180度之間。

具體地，所述壓電驅(qū)動(dòng)器經(jīng)接地電極粘接于所述凸臺(tái)。

具體地，所述驅(qū)動(dòng)電極包含1個(gè)中心區(qū)域電極和多個(gè)扇形區(qū)域電極，所述扇形區(qū)域電極均勻間隔分布在所述中心區(qū)域電極周圍。