[實用新型]單晶爐石墨坩堝提升機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920294725.4
• 申請日: 2019-03-08
• 公開（公告）號: CN210085618U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設計）人: 曹建偉;傅林堅;胡建榮;高宇;倪軍夫;葉鋼飛;王鵬飛;吳虞超;譚慶
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C30B15/10
• 分類號: C30B15/10;C30B29/06
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

本實用新型是關于單晶硅制備設備領域，特別涉及一種單晶爐石墨坩堝提升機構(gòu)。包括提升架；提升架為環(huán)形，沿周向均布若干通孔；旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)軸及鎖緊塊；旋轉(zhuǎn)軸有多根，頂部設于提升架上的通孔內(nèi)，并通過墊環(huán)與鎖緊塊固定；每個旋轉(zhuǎn)軸底端均設有提升塊；鎖緊塊上端面上設有腰型槽；轉(zhuǎn)盤設于提升架上方，轉(zhuǎn)盤周向均布多個腰型孔，旋轉(zhuǎn)軸頂端設于腰型孔內(nèi)；轉(zhuǎn)盤下端面設有若干導向件，導向件下端設于鎖緊件的腰型孔內(nèi)，并能沿著腰型槽移動。本實用新型與手工裝卸相比，本實用新型不會對坩堝表面造成材料污染，也不必將坩堝切成三瓣，既節(jié)省人力又節(jié)省物力。

技術(shù)領域

本實用新型是關于單晶硅制備設備領域，特別涉及一種單晶爐石墨坩堝提升機構(gòu)。

背景技術(shù)

在直拉法單晶爐生產(chǎn)硅單晶的過程中，會涉及更換石墨坩堝。位于加熱器內(nèi)的石墨坩堝在更換過程中，由于坩堝外壁與加熱器內(nèi)壁距離較近，現(xiàn)有的安裝方式為將石墨坩堝切成三瓣，人工裝卸。本專利涉及的吊裝機構(gòu)可以實現(xiàn)裝夾，安放和保護石墨坩堝，并且無需將坩堝做成三瓣，既節(jié)省人力又節(jié)省物力，還能做到不讓其表面被其它材質(zhì)污染，能更方便快捷地安裝、拆卸石墨坩堝。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種單晶爐石墨坩堝提升機構(gòu)。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的解決方案是：

提供一種單晶爐石墨坩堝提升機構(gòu)，包括提升架、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、轉(zhuǎn)盤與提升塊；

提升架為環(huán)形，沿周向均布若干通孔；

旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)軸及鎖緊塊；旋轉(zhuǎn)軸有多根，頂部設于提升架上的通孔內(nèi)，并通過墊環(huán)與鎖緊塊固定；每個旋轉(zhuǎn)軸底端均設有提升塊；鎖緊塊上端面上設有腰型槽；

轉(zhuǎn)盤設于提升架上方，轉(zhuǎn)盤周向均布多個腰型孔，旋轉(zhuǎn)軸頂端設于腰型孔內(nèi)；轉(zhuǎn)盤下端面設有若干導向件，導向件下端設于鎖緊件的腰型孔內(nèi)，并能沿著腰型槽移動。

作為一種改進，旋轉(zhuǎn)軸頂部開有多邊形徑向定位臺階，用于定位鎖緊塊。

作為一種改進，轉(zhuǎn)盤下端面設有墊塊。

作為一種改進，導向件為圓柱形，通過擋圈與轉(zhuǎn)盤相連。

作為一種改進，提升架頂端設有吊環(huán)。

導向件材質(zhì)為耐磨材料；旋轉(zhuǎn)軸為碳碳復合材料，能在保證強度的情況下保護石墨坩堝外表面不與加熱器接觸，從而起到不被其他材料污染的作用；提升塊材質(zhì)為碳碳復合材料，通過螺母鎖緊，提升塊上設有安裝斜面，工作時與石墨坩堝下方的斜面貼合，從而實行很好的徑向受力平衡，以此來更穩(wěn)地承受石墨坩堝的重力。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果為：

與手工裝卸相比，本實用新型不會對坩堝表面造成材料污染，也不必將坩堝切成三瓣，既節(jié)省人力又節(jié)省物力。

附圖說明

圖1為本實用新型的上視圖。

圖2為本實用新型熱場內(nèi)部工作狀態(tài)剖視圖。

圖3為本實用新型的等軸側(cè)圖。

圖中：1-提升架、2-旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、3-轉(zhuǎn)盤、4-提升塊、5-墊塊、6-熱場、7-石墨坩堝。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細說明：

如圖1、圖2、圖3所示的一種單晶爐石墨坩堝提升機構(gòu)，包括提升架1、旋轉(zhuǎn)機構(gòu) 2、轉(zhuǎn)盤3與提升塊4；

提升架1為環(huán)形，沿周向均布若干通孔；