[實用新型]一種激光噴砂裝置

有效

• 申請號: 201920291119.7
• 申請日: 2019-03-07
• 公開（公告）號: CN209664582U
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 盧建棟;張揚
• 申請（專利權）人: 東曹(上海)電子材料有限公司
• 主分類號: B23K26/352
• 分類號: B23K26/352;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種激光噴砂裝置，涉及表面處理設備技術領域，包括機架及水平架設于機架上的工件臺，機架上圍繞工件臺還分別設置有第一激光噴砂組件以及第二激光噴砂組件；第一激光噴砂組件包括第一豎直支架、第一水平支架以及第一激光發射器，第一豎直支架上設有升降驅動組件，第一水平支架上設有水平驅動組件；第二激光噴砂組件包括第二豎直支架、第二水平支架以及第二激光發射器，第二豎直支架上設有橫向驅動組件，第二水平支架上設有縱向驅動組件。本實用新型提供了操作簡單，工作效率高，噴砂效果好，噴砂覆蓋范圍全面的一種激光噴砂裝置。

技術領域

本實用新型涉及表面處理設備技術領域，具體地說，它涉及一種激光噴砂裝置。

背景技術

濺射是制備薄膜材料的主要技術之一，它利用離子源產生的離子，在真空中經過加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固定表面院子發生動能交換，使固體表面的院子離開固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是制備濺射法沉積薄膜的原材料，稱為濺射靶材。各種類型的濺射薄膜材料無論在半導體集成電路、太陽能光伏、記錄介質、平面顯示以及工件表面涂層等方面都得到了廣泛的應用。

如圖1所示，圖中提供了一種濺射靶材1，其包括銅層101和鉬層102兩層材料；在加工時，廠家需要在該濺射靶材1上多個表面進行噴砂處理。在實際操作時，濺射靶材1的噴砂作業通常采用噴砂機完成，由于該濺射靶材1上存在多個需要噴砂處理的表面，故工作人員只能依次完成各個面的噴砂作業，不僅操作繁瑣，效率較低，而且加工質量也相對較低。

實用新型內容

針對上述技術問題，本實用新型的目的是提供一種激光噴砂裝置，采用激光噴砂的方式對工件多個表面進行同步噴砂作業，簡化操作，提高效率，保證工件噴砂處理效果。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下技術方案：

一種激光噴砂裝置，包括機架及水平架設于機架上的工件臺，所述機架上圍繞工件臺還分別設置有用于對工件側壁進行噴砂的第一激光噴砂組件以及用于對工件頂部進行噴砂的第二激光噴砂組件，所述第一激光噴砂組件在工件臺相對的兩側各設有一組；

所述第一激光噴砂組件包括豎直固定于機架上的第一豎直支架、豎直滑移設置于第一豎直支架上的第一水平支架以及水平滑移設置于第一水平支架上的第一激光發射器，所述第一豎直支架上設有用于驅動第一水平支架豎直升降的升降驅動組件，所述第一水平支架上設有用于驅動第一激光發射器水平滑移的水平驅動組件；

所述第二激光噴砂組件包括豎直固定于機架上的第二豎直支架、沿機架寬度方向水平滑移設置于第二豎直支架上側的第二水平支架以及沿機架長度方向水平滑移設置于第二水平支架上的第二激光發射器，所述第二豎直支架上設有用于驅動第二水平支架水平滑移的橫向驅動組件，所述第二水平支架上設有用于驅動第二激光發射器水平滑移的縱向驅動組件。

通過采用上述技術方案，在實際工作中，當工作人員將工件放上工件臺并完成工件定位后，兩組第一激光噴砂組件可對工件相對的兩側壁進行同步噴砂作業，第二激光噴砂組件可同步對工件頂部進行噴砂作業。具體的，在某一高度位置，水平驅動組件可驅動第一激光發射器在第一水平支架上水平滑移，并在一條水平直線上對工件側壁完成噴砂。隨后，升降驅動組件可驅動第一水平支架上升一個高度至下個工位，水平驅動組件可繼續驅動第一激光發射器水平滑移，繼續進行噴砂作業。通過這種方式，直至工件的側壁全部噴砂完成。類似的，在第二豎直支架上，縱向驅動組件可驅動第二激光發射器沿機架的長度方向滑移并對工件頂部進行噴砂，橫向驅動組件可驅動第二水平支架沿機架的寬度方向平移來更換工位，直至工件頂部完全噴砂完成。通過這種方式，第一激光噴砂組件和第二激光噴砂組件可分別完成工件側壁和上表面的噴砂作業；不僅操作簡單，效率大大提高，而且還有助于提高工件噴砂處理效果。