[實用新型]用于硅片分離的風刀裝置及硅片上料裝置

有效

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• 申請日: 2019-03-07
• 公開（公告）號: CN209820106U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發(fā)明（設計）人: 陳龍;高奪利;李成偉
• 申請（專利權）人: 洛陽阿特斯光伏科技有限公司
• 主分類號: F26B21/00
• 分類號: F26B21/00;H01L31/18
• 代理公司: 32235 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 楊金

1.一種用于硅片分離的風刀裝置，其特征在于：包括形成有空腔的外殼和設置于空腔內的葉輪機構，在第一方向上，所述葉輪機構將所述空腔進行分隔形成位于葉輪機構兩側的進氣腔和排氣腔，所述外殼設有分別連通進氣腔和排氣腔的進氣口和出氣口。

2.根據(jù)權利要求1所述的用于硅片分離的風刀裝置，其特征在于：在垂直第一方向的第二方向上，所述葉輪機構包括并排設置的第一葉輪和第二葉輪，所述第一葉輪和第二葉輪之間相互交叉設置。

3.根據(jù)權利要求2所述的用于硅片分離的風刀裝置，其特征在于：所述進氣口和出氣口沿第二方向對應位于所述第一葉輪和第二葉輪之間相互交叉的位置處。

4.根據(jù)權利要求3所述的用于硅片分離的風刀裝置，其特征在于：所述風刀裝置還包括用于調整葉輪機構轉動速度的調節(jié)機構，所述調節(jié)機構與第一葉輪的一固定軸連接固定。

5.根據(jù)權利要求4所述的用于硅片分離的風刀裝置，其特征在于：所述調節(jié)機構包括沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向與第一葉輪的固定軸同軸固定的制動輪、與制動輪相接觸的阻尼塊及與阻尼塊連接以調節(jié)制動輪與阻尼塊之間摩擦阻力的調節(jié)件。

6.根據(jù)權利要求1所述的用于硅片分離的風刀裝置，其特征在于：所述風刀裝置還具有可拆卸的設置在出氣口的風刀主體。

7.根據(jù)權利要求6所述的用于硅片分離的風刀裝置，其特征在于：所述風刀裝置還包括沿第二方向位于所述風刀主體兩側的一對輔助風刀，一對所述輔助風刀的出氣方向與出氣口的出氣方向一致。

8.根據(jù)權利要求6所述的用于硅片分離的風刀裝置，其特征在于：所述風刀裝置還具有分別與所述進氣口和一對輔助風刀連通的進氣管，所述進氣口和一對輔助風刀通過進氣管連通至同一供氣機構。

9.根據(jù)權利要求8所述的用于硅片分離的風刀裝置，其特征在于：所述進氣管包括沿第二方向與供氣機構相連的第一管道及沿第一方向分別與進氣口和一對輔助風刀連通的三個第二管道，所述第二管道分別與第一管道連通。

10.一種硅片上料裝置，其特征在于：包括存放硅片的承載盒、如權利要求1-9任意一項所述的用于硅片分離的風刀裝置及用于固定所述風刀裝置的支架，所述風刀裝置設置為一對且位于所述承載盒的兩側。