[實用新型]用于石墨舟插片機硅片傳輸線的伸縮結構

有效

• 申請號: 201920282817.0
• 申請日: 2019-03-06
• 公開（公告）號: CN209401603U
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發明（設計）人: 鄧金生;汪林;周宏業;余仲
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 尹彥;胡朝陽

1.一種用于石墨舟插片機硅片傳輸線的伸縮結構，包括機架（8），設置在機架底板上的直線滑軌（15）和安裝在其上面的伸縮板（1），還包括傳動輪組，與傳動輪組驅動連接的電機（7）和皮帶（10），其特征在于：所述電機（7）通過傳動輪組使皮帶（10）在機架（8）的上面作傳輸運動，所述伸縮板（1）以直線滑軌（15）導向，通過伸縮氣缸（9）的伸縮帶動伸縮板（1）伸出或縮進所述機架（8）的一端，當所述伸縮板（1）伸出或縮進所述機架（8）時，所述皮帶（10）通過所述傳動輪組使得其始終處于張緊狀態。

2.根據權利要求1所述的伸縮結構，其特征在于：所述傳動輪組包括主動輪（16）、第一傳動輪（11）、第二傳動輪（12）、第三傳動輪（13）和第四傳動輪（17），所述主動輪(16)安裝在機架（8）的側面，并與所述電機（7）的輸出軸傳動連接，所述第一傳動輪（11）安裝在所述伸縮板（1）外側的一端，所述第二傳動輪（12）安裝在伸縮板（1）底部上遠離第一傳動輪（11）的一端，所述第三傳動輪（13）位于第二傳動輪（12）的下側，并安裝在機架（8）上，所述第四傳動輪（17）安裝在所述機架（8）的上面遠離第一傳動輪（11）的一端。

3.根據權利要求2所述的伸縮結構，其特征在于：所述主動輪（16）通過所述皮帶（10）與所述第四傳動輪（17）、第一傳動輪（11）、第二傳動輪（12）和第三傳動輪（13）傳動連接，所述電機（7）通過主動輪（16）、第一傳動輪（11）、第二傳動輪（12）、第三傳動輪（13）和第四傳動輪（17）使皮帶（10）在機架（8）的上面作傳輸運動，當伸縮氣缸（9）驅動伸縮板（1）伸出或縮進所述機架（8）的一端時，所述第二傳動輪（12）會隨著所述伸縮板（1）移動，從而帶動皮帶（10）一起移動，使得皮帶（10）始終處于張緊狀態。

4.根據權利要求3所述的伸縮結構，其特征在于：所述主動輪（16）和第三傳動輪（13）之間還設有第五傳動輪（19），所述第五傳動輪（19）通過皮帶（10）分別與主動輪（16）和第三傳動輪（13）傳動連接；所述主動輪（16）和第四傳動輪（17）之間還設有第六傳動輪（18），所述第六傳動輪（18）通過皮帶（10）分別與主動輪（16）和第四傳動輪（17）傳動連接。

5.根據權利要求4所述的伸縮結構，其特征在于：所述傳動輪組共有兩組，分別設置在機架（8）的兩側。

6.根據權利要求1所述的伸縮結構，其特征在于：所述機架（8）上面的兩側各設有一個皮帶承托桿（3），所述皮帶承托桿（3）的一端固定安裝在機架（8）上，當伸縮板（1）伸出所述機架（8）一端時，它能夠托住皮帶（10）。

7.根據權利要求6所述的伸縮結構，其特征在于：所述伸縮板（1）上的兩側設有與所述皮帶承托桿（3）配合使用的避讓槽（2），所述皮帶承托桿（3）置于所述避讓槽（2）內來回伸縮運動，所述伸縮板（1）上的避讓槽（2）寬度必須小于皮帶（10）寬度，從而當伸縮板（1）伸出所述機架（8）一端時，避讓槽（2）上方的皮帶（10）不會因懸空而抖動。

8.根據權利要求1所述的伸縮結構，其特征在于：所述伸縮板（1）和伸縮氣缸（9）之間還設有滑動組件，所述滑動組件包括連接臂（20）、底座（4）、連接塊（5）及滑塊（14）；所述連接臂（20）的頂端與伸縮板（1）的底部固定連接，所述連接臂（20）的底端與底座（4）的頂端固定連接，所述底座（4）的內側端面與連接塊（5）固定連接。

9.根據權利要求8所述的伸縮結構，其特征在于：所述底座（4）下端的兩側設有滑塊（14），所述滑塊（14）的底部設有與所述直線滑軌（15）配合的凹槽，所述凹槽卡合在所述直線滑軌（15）上滑動連接。

10.根據權利要求9所述的伸縮結構，其特征在于：所述伸縮氣缸（9）固定在機架（8）的底部，所述伸縮氣缸（9）上設有伸縮桿（6），所述伸縮桿（6）的一端與所述連接塊（5）固定連接。