[實用新型]一種非等徑磁過濾系統

有效

• 申請號: 201920268139.2
• 申請日: 2019-03-01
• 公開（公告）號: CN210287518U
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 唐杰;龐盼;廖斌;羅軍;陳琳
• 申請（專利權）人: 深圳南科超膜材料技術有限公司
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26;C23C16/50
• 代理公司: 深圳市賓亞知識產權代理有限公司 44459
• 代理人: 黃磊

1.一種非等徑磁過濾系統，其特征在于：包括非等徑磁過濾彎管、高脈沖磁場、壓縮磁場和脈沖偏壓電極，所述非等徑磁過濾彎管分別設有上法蘭盤和下法蘭盤，所述下法蘭盤的上方設置有上屏蔽罩，所述下法蘭盤的下方設置有下屏蔽罩，所述壓縮磁場臨近位于所述下法蘭盤，所述高脈沖磁場位于上法蘭盤上，所述脈沖偏壓電極位于非等徑磁過濾彎管中部；

所述高脈沖磁場用于控制弧源靶材弧斑運動，使靶材均勻消耗，同時在彎管傳輸方向提供電場；

所述脈沖偏壓電極壓縮等離子體，提高等離子體的傳輸效率；

所述壓縮磁場用于壓縮等離子體，通入的氣體能夠在壓縮段進行充分電離，提高等離子體密度和氣體的電離度。

2.如權利要求1所述的非等徑磁過濾系統，其特征在于：所述高脈沖磁場電流10-200A，頻率為10-100Hz。

3.如權利要求1所述的非等徑磁過濾系統，其特征在于：所述高脈沖磁場與所述壓縮磁場方向相反，用于對等離子體進行散焦，散焦后的等離子體的出射寬度為300-400mm。

4.如權利要求1所述的非等徑磁過濾系統，其特征在于：所述壓縮磁場的強度為100-1000A。

5.如權利要求1所述的非等徑磁過濾系統，其特征在于：所述脈沖偏壓電極的電壓為1-100V，頻率為20-100Hz。

6.如權利要求1所述的非等徑磁過濾系統，其特征在于：所述上屏蔽罩與所述下法蘭盤面的交角為50-90度，長度為5-10mm。

7.如權利要求1所述的非等徑磁過濾系統，其特征在于：所述下屏蔽罩與所述下法蘭盤面的交角為60-90度，長度為8-12mm。