[實用新型]一種基于氮化硅的激光器

有效

• 申請號: 201920261337.6
• 申請日: 2019-03-01
• 公開（公告）號: CN209472201U
• 公開（公告）日: 2019-10-08
• 發明（設計）人: 吳興宇
• 申請（專利權）人: 深圳市硅光半導體科技有限公司
• 主分類號: H01S5/30
• 分類號: H01S5/30
• 代理公司: 深圳市深聯知識產權代理事務所(普通合伙) 44357
• 代理人: 楊靜

本實用新型提出了一種基于氮化硅的激光器，包括：沿著光路方向上依次設置的泵浦源、反射鏡面、增益介質、用于產生激光的生成器及與所述的生成器相連接的控制器，所述的反射鏡面用于將來自泵浦源的激光進行反射，所述的增益介質用于將反射過來的激光進行放大，所述的生成器為氮化硅器件。本實用新型的一種基于氮化硅的激光器,運用氮化硅芯片，可以極大的簡化激光的系統復雜程度并且降低成本。

技術領域

本實用新型涉及一種激光器，特別涉及一種基于氮化硅的激光器。

背景技術

半導體激光器是目前光通信系統中最為重要的光源，在通信中現有的半導體激光器一般為DFB激光器(Distributed Feedback Laser，分布式反饋激光器)或FP激光器(Fabry-perot激光器)，DFB激光器和FP激光器成本較低，體積較小、能耗低，但是DFB激光器和FP激光器的調諧較復雜，在下一代無源光網絡(NG-PON2)和5G移動無線接入系統的光承載網中需要用到大量的低成本連續可調激光器，市場需求量非常大。

目前，傳統的技術方案結構復雜、成本高，尚不能滿足要求。此外DFB激光器的線寬一般在MHz及以上，FP激光器的線寬更寬，使其不能滿足于自動駕駛技術核心部件激光雷達LIDAR等應用的需要，并且最終會制約通信的數據量。而且，現有技術中的窄線寬可調的激光器都是基于外腔的激光器，基于外腔的激光器一般體積都較大，且售價很貴，約為一萬美元以上，所以盡管新興產業中對激光器的需求很大，但成本問題大大制約了激光器的普及，及相關應用產業的發展。

實用新型內容

為了解決現有技術中激光器體積大、成本高的不足，本實用新型提供一種基于氮化硅的激光器。

本實用新型公開了一種基于氮化硅的激光器，包括：沿著光路方向上依次設置的泵浦源、反射鏡面、增益介質、用于產生激光的生成器及與所述的生成器相連接的控制器，所述的反射鏡面用于將來自泵浦源的激光進行反射，所述的增益介質用于將反射過來的激光進行放大，所述的生成器為氮化硅器件。

進一步地，所述的生成器包括光波導、環形諧振腔、諧振器及激光輸出接口，所述的光波導用于將放大過的激光導入到所述的環形諧振腔進行諧振，再將諧振后的激光導出到激光輸出接口以輸出激光，所述的諧振器控制諧振頻率。

進一步地，所述的反射鏡面具有高反射鍍層，至少鍍在相對于所述的增益介質的一端。

進一步地，所述的增益介質采用三五族增益介質。

進一步地，所述的反射鏡面和增益介質通過邊緣耦合在第一芯片上，所述的控制器和生成器通過邊緣耦合在第二芯片上。

進一步地，所述的反射鏡面和增益介質通過微棱鏡耦合在第一芯片上，所述的控制器和生成器通過微棱鏡耦合在第二芯片上。

進一步地，所述的諧振器包括以下功能模塊：

頻率接收模塊，用于接收用戶需要的諧振頻率數值；

微處理模塊，用于根據所述的諧振頻率數值向諧振電機驅動模塊發出指令；

諧振電機驅動模塊，用于根據所述的指令驅動諧振電機的運轉；

諧振電機，用于按所述的諧振頻率數值實現環形諧振腔的物理諧振運動。

進一步地，所述的環形諧振腔為內壁具有反射鏡面的氮化硅微腔。

進一步地，所述的控制器包括波長調節單元，用于調節激光的光波的波長。

進一步地，所述的控制器集成了所述的諧振器。

實施本實用新型的一種基于氮化硅的激光器，具有以下有益的技術效果：