[實用新型]一種超穩(wěn)光學參考腔支撐調節(jié)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920257962.3 | 申請日: | 2019-02-28 |
| 公開(公告)號: | CN209590374U | 公開(公告)日: | 2019-11-05 |
| 發(fā)明(設計)人: | 許冠軍;焦東東;陳龍;張林波;劉軍;劉濤;董瑞芳;張首剛 | 申請(專利權)人: | 中國科學院國家授時中心 |
| 主分類號: | G02B7/00 | 分類號: | G02B7/00 |
| 代理公司: | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人: | 李鵬威 |
| 地址: | 710600 陜*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光學參考 腔體支架 弧面板 支撐調節(jié)裝置 真空腔室 支撐面板 支撐墊 滑槽 滑塊 腔體 本實用新型 同一水平面 直線推進器 豎直運動 支撐位置 純機械 高真空 可滑動 真空腔 頂面 支撐 支承 精密 泄漏 對稱 開封 室內 保證 | ||
1.一種超穩(wěn)光學參考腔支撐調節(jié)裝置,其特征在于,包括真空腔室(1)以及設置在真空腔室(1)內用于支承超穩(wěn)光學參考腔(3)的腔體支架(16),腔體支架(16)的截面為U型結構,包括底部的弧面板和設置在弧面板上的兩支撐面板,支撐面板的頂部兩端均開設有滑槽(161),每個滑槽內均設置有一可滑動的滑塊(21),且滑塊(21)上設置有用于支撐超穩(wěn)光學參考腔(3)的腔體支撐墊(23),四個腔體支撐墊(23)的頂面位于同一水平面,所述腔體支架(16)的弧面板上放置有一腔體豎直運動支撐(162);
所述支撐調節(jié)裝置還包括四個水平直線推進器和一個豎直直線推進器(15),每個水平直線推進器活動端分別連接一滑塊(21),用于帶動腔體支撐墊(23)在滑槽(161)內的滑動,所述豎直直線推進器(15)的活動端穿過真空腔室(1)和腔體支架(16)與豎直運動支撐(162)連接,所述豎直直線推進器(15)用于實現(xiàn)超穩(wěn)光學參考腔(3)豎直方向上的運動。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種超穩(wěn)光學參考腔支撐調節(jié)裝置,其特征在于,所述真空腔室(1)為筒狀結構設計,且在筒狀結構的兩端設置有第一真空法蘭盤(18),每個水平直線推進器均通過一第二真空法蘭盤(19)連接在第一真空法蘭盤(18)上,豎直直線推進器(15)通過一第二真空法蘭盤(19)密封連接在真空腔室(1)上。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種超穩(wěn)光學參考腔支撐調節(jié)裝置,其特征在于,所述真空腔室(1)的內壁設置有熱屏蔽層(17),所述熱屏蔽層(17)位于真空腔室(1)與腔體支架(16)之間。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種超穩(wěn)光學參考腔支撐調節(jié)裝置,其特征在于,所述真空腔室(1)內的真空度在10-5Pa數(shù)量級以上。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種超穩(wěn)光學參考腔支撐調節(jié)裝置,其特征在于,所述真空腔室(1)上還開設有用于連接真空抽氣設備的第三真空法蘭盤(20)。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種超穩(wěn)光學參考腔支撐調節(jié)裝置,其特征在于,四個腔體支撐墊(23)中,兩支撐板面板之間的腔體支撐墊(23)對稱設置,每個支撐面板上的兩個腔體支撐墊(23)之間對稱設置。
7.根據(jù)權利要求1所述的一種超穩(wěn)光學參考腔支撐調節(jié)裝置,其特征在于,所述腔體支架(16)底部的弧面板與真空腔室(1)的內壁貼合。
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