[實用新型]一種用于分離晶圓與研磨頭的壓力控制系統有效
| 申請號： | 201920256962.1 | 申請日： | 2019-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN209868286U | 公開（公告）日： | 2019-12-31 |
| 發明（設計）人： | 王康;肖爽;王力 | 申請（專利權）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/34 | 分類號： | B24B37/34;B24B37/005 |
| 代理公司： | 31272 上海申新律師事務所 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨頭 晶圓 供給裝置 機臺 壓力控制系統 供氣管路 本實用新型 一端連接 半導體制造技術 壓力控制器 進氣端口 控制供給 輸出端口 正向氣壓 裝置結構 可操作 負壓 氣壓 報廢 平衡 | ||
1.一種用于分離晶圓與研磨頭的壓力控制系統，其特征在于，所述壓力控制系統獨立于機臺，包括：
一供給裝置，與所述機臺的供氣管路的一端連接，所述供氣管路的另一端連接所述機臺的研磨頭，所述供給裝置用以提供正向氣壓至所述研磨頭，以平衡所述研磨頭內的負壓；
一壓力控制器，設置于所述供給裝置的輸出端口與所述供氣管路的進氣端口之間，用以可操作的控制所述供給裝置與所述研磨頭之間，用以調整所述供給裝置至所述研磨頭的氣壓值。
2.根據權利要求1所述的用于分離晶圓與研磨頭的壓力控制系統，其特征在于，所述壓力控制系統還包括一壓力校正裝置，設置于所述壓力控制器與所述供氣管路的進氣端口之間。
3.根據權利要求2所述的用于分離晶圓與研磨頭的壓力控制系統，其特征在于，所述壓力校正裝置為壓力測量儀。
4.根據權利要求1所述的用于分離晶圓與研磨頭的壓力控制系統，其特征在于，所述壓力控制系統還包括一控制閥，設置于所述供給裝置的輸出端口與所述壓力控制器之間。
5.根據權利要求1所述的用于分離晶圓與研磨頭的壓力控制系統，其特征在于，所述壓力控制器上設有一壓力顯示裝置。
6.根據權利要求5所述的用于分離晶圓與研磨頭的壓力控制系統，其特征在于，所述壓力顯示裝置為壓力表。
7.根據權利要求1所述的用于分離晶圓與研磨頭的壓力控制系統，其特征在于，所述壓力控制器上還設有一操作裝置。
8.根據權利要求7所述的用于分離晶圓與研磨頭的壓力控制系統，其特征在于，所述操作裝置為調節旋鈕。
9.根據權利要求2所述的用于分離晶圓與研磨頭的壓力控制系統，其特征在于，所述供給裝置通過一切換裝置分別連接所述壓力校正裝置與所述供氣管路。
10.根據權利要求9所述的用于分離晶圓與研磨頭的壓力控制系統，其特征在于，所述切換裝置為換向閥。
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