[實(shí)用新型]一種旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)角度檢測(cè)裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920252396.7 | 申請(qǐng)日： | 2019-02-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN209399948U | 公開（公告）日： | 2019-09-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 袁運(yùn)琪;閔長俊;袁小聰;金孟娟;張治斌;楊奎雷 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 深圳大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01B11/27 | 分類號(hào)： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 518060 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 棱鏡 被測(cè)物體 貼合裝置 處理顯示裝置 旋轉(zhuǎn)軸 轉(zhuǎn)動(dòng)角度檢測(cè)裝置 轉(zhuǎn)動(dòng) 橢圓偏振光 出射裝置 棱鏡反射 線偏振光 圓偏振光 光強(qiáng)差 濾波 射入 測(cè)量 激光 本實(shí)用新型 對(duì)稱安裝 激光光束 鏡面垂直 同一直線 鏡面 接線 輸出 | ||
1.一種旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)角度檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)裝置包括激光出射裝置、貼合裝置和處理顯示裝置；
所述激光出射裝置用于產(chǎn)生預(yù)設(shè)波長的激光光束，并將所述激光光束調(diào)節(jié)為圓偏振光；
所述貼合裝置包括對(duì)稱安裝的第一棱鏡和第二棱鏡，所述第一棱鏡的鏡面與所述第二棱鏡的鏡面垂直，所述第一棱鏡的一側(cè)與所述第二棱鏡的一側(cè)接觸，所述貼合裝置固定在被測(cè)物體上且所述第一棱鏡與所述第二棱鏡的相接線與所述被測(cè)物體的旋轉(zhuǎn)軸處于同一直線上，所述圓偏振光射入所述貼合裝置，經(jīng)所述第一棱鏡反射和所述第二棱鏡反射后輸出橢圓偏振光；
所述橢圓偏振光射入所述處理顯示裝置，所述處理顯示裝置將所述橢圓偏振光調(diào)節(jié)為線偏振光并進(jìn)行濾波，并基于濾波后的所述線偏振光測(cè)量s光與p光的光強(qiáng)差，基于所述光強(qiáng)差確定所述被測(cè)物體的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述激光出射裝置包括激光器、擴(kuò)束器、和偏振調(diào)節(jié)單元；
所述激光器用于產(chǎn)生所述激光光束，所述激光光束經(jīng)過所述擴(kuò)束器進(jìn)行光束直徑擴(kuò)大后射入所述偏振調(diào)節(jié)單元，所述偏振調(diào)節(jié)單元用于將直徑擴(kuò)大后的激光光束調(diào)節(jié)為圓偏振光。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述偏振調(diào)節(jié)單元包括偏振片和第一四分之一波片；
所述擴(kuò)束器出射的光束射入所述偏振片，經(jīng)所述偏振片進(jìn)行線偏振調(diào)節(jié)后射入所述第一四分之一波片，經(jīng)所述第一四分之一波片進(jìn)行圓偏振調(diào)節(jié)后輸出所述圓偏振光。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述貼合裝置還包括棱鏡固定座；
所述棱鏡固定座的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有第一凹槽和與第二凹槽，所述第一棱鏡固定在所述第一凹槽內(nèi)，所述第二棱鏡固定在所述第二凹槽內(nèi)，所述第一棱鏡與所述第二棱鏡對(duì)稱且所述第一棱鏡的鏡面與所述第二棱鏡的鏡面垂直，所述第一棱鏡的一側(cè)與所述第二棱鏡的一側(cè)接觸且相接線與被測(cè)物體的旋轉(zhuǎn)軸處于同一直線上；
所述圓偏振光入射至所述第一棱鏡，經(jīng)所述第一棱鏡反射后入射至所述第二棱鏡，經(jīng)所述第二棱鏡反射后輸出橢圓偏振光。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述處理顯示裝置包括偏振濾波單元和測(cè)量顯示單元；
所述橢圓偏振光射入所述偏振濾波單元，經(jīng)所述偏振濾波單元進(jìn)行線偏振光調(diào)節(jié)和濾波調(diào)節(jié)后輸出單色線偏振光，所述單色線偏振光射入所述測(cè)量顯示單元，所述測(cè)量顯示單元用于將所述單色線偏振光分解為s光和p光并計(jì)算所述s光和所述p光的光強(qiáng)差，基于所述光強(qiáng)差計(jì)算相對(duì)橢偏度，并基于所述相對(duì)橢偏度得到所述轉(zhuǎn)動(dòng)角度，所述相對(duì)橢偏度為所述轉(zhuǎn)動(dòng)角度的橢偏度與最大橢偏度之比。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述偏振濾波單元包括第二四分之一波片和窄帶濾波片；
所述橢圓偏振光射入所述第二四分之一波片，經(jīng)所述第二四分之一波片調(diào)節(jié)為所述線偏振光；
所述線偏振光射入所述窄帶濾波片，經(jīng)所述窄帶濾波片濾除所述波長之外的雜光后得到單色線偏振光。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述測(cè)量顯示單元包括探測(cè)器和顯示單元；
所述單色線偏振光射入所述探測(cè)器，所述探測(cè)器將所述單色線偏振光分解為s光和p光，并測(cè)量所述s光與所述p光的光強(qiáng)差，所述顯示單元基于所述光強(qiáng)差計(jì)算相對(duì)橢偏度，并基于所述相對(duì)橢偏度得到所述轉(zhuǎn)動(dòng)角度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述探測(cè)器為平衡放大光電探測(cè)器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任意一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第一棱鏡和所述第二棱鏡均為直角棱鏡。
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