[實用新型]一種基于新型MIM布拉格光柵的溫度傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920247419.5 | 申請日： | 2019-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN209470789U | 公開（公告）日： | 2019-10-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王各;朱君 | 申請（專利權(quán)）人： | 廣西師范大學(xué) |
| 主分類號： | G01K11/32 | 分類號： | G01K11/32 |
| 代理公司： | 桂林市華杰專利商標(biāo)事務(wù)所有限責(zé)任公司 45112 | 代理人： | 劉梅芳 |
| 地址： | 541004 廣西壯*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 布拉格光柵 金屬層 溫度傳感器 本實用新型 感溫介質(zhì) 醫(yī)學(xué)檢測 制備過程 靈敏度 基底層 納米級 體積小 邊界線 傳感器 傳感 疊接 對稱 響應(yīng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種基于新型MIM布拉格光柵的溫度傳感器，其特征是，包括自下而上順序疊接的基底層（1）和金屬層（2），所述的金屬層（2）的中部設(shè)有納米腔（3），納米腔（3）的兩個長邊界線呈對稱的S狀，納米腔（3）中設(shè)有感溫介質(zhì)，金屬層（2）和納米腔（3）構(gòu)成新型MIM布拉格光柵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于新型MIM布拉格光柵的溫度傳感器，其特征是，所述納米腔（3）的內(nèi)徑大小可調(diào)。
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