[實用新型]一種基于新型MIM布拉格光柵的溫度傳感器有效
| 申請號: | 201920247419.5 | 申請日: | 2019-02-27 |
| 公開(公告)號: | CN209470789U | 公開(公告)日: | 2019-10-08 |
| 發明(設計)人: | 王各;朱君 | 申請(專利權)人: | 廣西師范大學 |
| 主分類號: | G01K11/32 | 分類號: | G01K11/32 |
| 代理公司: | 桂林市華杰專利商標事務所有限責任公司 45112 | 代理人: | 劉梅芳 |
| 地址: | 541004 廣西壯*** | 國省代碼: | 廣西;45 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 布拉格光柵 金屬層 溫度傳感器 本實用新型 感溫介質 醫學檢測 制備過程 靈敏度 基底層 納米級 體積小 邊界線 傳感器 傳感 疊接 對稱 響應 | ||
【權利要求書】:
1.一種基于新型MIM布拉格光柵的溫度傳感器,其特征是,包括自下而上順序疊接的基底層(1)和金屬層(2),所述的金屬層(2)的中部設有納米腔(3),納米腔(3)的兩個長邊界線呈對稱的S狀,納米腔(3)中設有感溫介質,金屬層(2)和納米腔(3)構成新型MIM布拉格光柵。
2.根據權利要求1所述的基于新型MIM布拉格光柵的溫度傳感器,其特征是,所述納米腔(3)的內徑大小可調。
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