[實用新型]一種大規模拼接焦平面探測器平面度測量裝置有效
| 申請號： | 201920245548.0 | 申請日： | 2019-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN209445998U | 公開（公告）日： | 2019-09-27 |
| 發明（設計）人： | 孫勝利;于清華;陳凡勝;林長青;林加木 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海技術物理研究所 |
| 主分類號： | G01B11/30 | 分類號： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海滬慧律師事務所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探測器 焦平面 拼接 光源組件 平面度測量裝置 焦平面探測器 調整系統 精度位置 視場位置 位置坐標 光源 會聚 位置調整系統 信號實時監測 測量裝置 測試過程 精細調整 平面擬合 響應信號 高精密 光敏面 平面度 全視場 遍歷 記錄 覆蓋 | ||
【權利要求書】：
1.一種大規模拼接焦平面探測器平面度測量裝置，包括小F數點光源會聚光源組件和高精密位置調整系統，其特征在于：
所述的大規模拼接焦平面探測器平面度測量裝置中光源組件的工作譜段覆蓋預定檢測的焦平面探測器響應譜段；光源組件的后工作距滿足大規模拼接焦平面探測器平面度測量需求；高精密位置調整系統與小F數點光源會聚光源組件剛性固定鏈接，且高精度位置調整系統的位置測量精度滿足滿足大規模拼接焦平面探測器平面度測量需求。
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