[實用新型]曝光機

有效

• 申請號: 201920244287.0
• 申請日: 2019-02-26
• 公開（公告）號: CN209674182U
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 王建勛;程亮
• 申請（專利權）人: 廣東思沃精密機械有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 44414 深圳中一聯合知識產權代理有限公司
• 代理人: 張全文<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種曝光機，其特征在于：包括主機體和兩個傳輸裝置，兩個所述傳輸裝置均包括安裝架、傳送機構和位移糾偏機構，兩個所述安裝架分別位于所述主機體的輸入端和輸出端，兩個所述傳送機構分別安裝于兩個所述安裝架上并均用于沿X軸方向傳送待曝光膜料通過所述主機體，兩個所述位移糾偏機構均包括底架和直線電機，兩個所述安裝架分別沿Y軸方向滑動安裝于兩個所述底架上，兩個所述直線電機分別沿Y軸方向安裝于兩個所述安裝架上，且兩個所述直線電機的連接桿分別連接于兩個所述底架。

2.根據權利要求1所述的曝光機，其特征在于：兩個所述位移糾偏機構均包括若干滑軌和若干滑塊，各所述滑軌均沿Y軸方向安裝于對應的所述底架上，各所述滑塊均安裝于對應的所述安裝架上并分別與各所述滑軌滑動連接。

3.根據權利要求1所述的曝光機，其特征在于：兩個所述傳送機構均包括收卷膠輥和驅動電機，所述收卷膠輥安裝于對應的所述安裝架上并用于傳送所述待曝光膜料通過所述主機體，所述驅動電機安裝于對應的所述安裝架上，且所述驅動電機的驅動軸與所述收卷膠輥傳動連接。

4.根據權利要求3所述的曝光機，其特征在于：兩個所述傳送機構均還包括電磁離合器，所述電磁離合器安裝于對應的所述安裝架上，且所述電磁離合器位于所述驅動電機和所述收卷膠輥之間，所述電磁離合器的輸入軸和所述驅動電機的驅動軸傳動連接，所述電磁離合器的輸出軸和所述收卷膠輥傳動連接。

5.根據權利要求3所述的曝光機，其特征在于：兩個所述傳送機構均還包括第一傳輸膠輥、第二傳輸膠輥和第三傳輸膠輥，所述第一傳輸膠輥、所述第二傳輸膠輥和所述第三傳輸膠輥依序沿背離所述主機體的方向可轉動地安裝于對應的所述安裝架上并與所述收卷膠輥共同形成用于傳輸所述待曝光膜料的傳輸路徑。

6.根據權利要求5所述的曝光機，其特征在于：兩個所述傳送機構均還包括用于承托所述待曝光膜料的承接組件，兩個所述承接組件均包括吸氣板和承接板，所述吸氣板安裝于對應的所述安裝架上并位于所述第一傳輸膠輥和所述主機體之間，所述吸氣板開設有用于與外界抽真空裝置相連通的吸氣腔，所述承接板安裝于所述吸氣板上且覆蓋于所述吸氣腔，所述承接板上開設有若干吸氣孔，各所述吸氣孔均與所述吸氣腔相連通。

7.根據權利要求1～6任一項所述的曝光機，其特征在于：所述曝光機還包括兩個膜軸裝置，兩個所述膜軸裝置分別位于兩個所述傳輸裝置和所述主機體之間并用于過渡傳送所述待曝光膜料。

8.根據權利要求7所述的曝光機，其特征在于：兩個所述膜軸裝置均包括主架體、第一膜軸、轉動電機和第二膜軸，所述主架體位于對應的所述傳輸裝置和所述主機體之間，所述第一膜軸可轉動地安裝于所述主架體上，所述轉動電機安裝于所述主架體上，且所述轉動電機的驅動軸與所述第一膜軸的第一端相連接，所述第二膜軸可轉動地安裝于所述主架體內并平行于所述第一膜軸設置。

9.根據權利要求8所述的曝光機，其特征在于：兩個所述膜軸裝置均還包括調位機構，兩個所述調位機構均包括固定板和承載架，所述固定板安裝于對應的所述主架體內并對應所述第一膜軸設置，所述固定板的上端面開設有若干安裝螺孔，所述承載架的下端面開設有若干裝配螺孔，所述承載架通過若干調位螺栓穿設各所述裝配螺孔和各所述安裝螺孔以安裝于所述固定板上，所述第二膜軸可轉動地安裝于所述承載架上。

10.根據權利要求9所述的曝光機，其特征在于：兩個所述調位機構還均包括直線馬達，所述直線馬達安裝于對應的所述主架體的下端面，且所述直線馬達的連接桿穿過所述主架體的下端面并固定連接于所述固定板的下端面。