[實用新型]一種防貼片的黑硅制絨裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920240530.1 | 申請日: | 2019-02-26 |
| 公開(公告)號: | CN209461475U | 公開(公告)日: | 2019-10-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 孫鵬;鄭守春;張良;唐駿;席珍強(qiáng);余剛 | 申請(專利權(quán))人: | 鎮(zhèn)江仁德新能源科技有限公司;鎮(zhèn)江榮德新能源科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司: | 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 陳國強(qiáng) |
| 地址: | 212200 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 硅片 硅片花籃 機(jī)械臂 壓桿 脫水槽 機(jī)械桿 兩組 貼片 本實用新型 上下活動 制絨裝置 槽體 黑硅 卡齒 槽體頂部 側(cè)壁連接 頂部設(shè)置 橫向分隔 開口縱向 向下移動 裝置設(shè)置 承載器 烘干 底面 提拉 脫水 開口 抽出 | ||
1.一種防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:包括機(jī)械臂(1)、預(yù)脫水槽槽體(4)和硅片花籃(7),所述預(yù)脫水槽槽體(4)的頂部設(shè)置有開口,所述機(jī)械臂(1)的下段連接有硅片花籃(7),所述硅片花籃(7)內(nèi)放置若干塊硅片(5);
所述機(jī)械臂(1)包括兩組機(jī)械桿(8),兩組機(jī)械桿(8)分別與硅片花籃(7)相對的兩個側(cè)壁(9)連接,兩組機(jī)械桿(8)之間設(shè)置有上下活動的壓桿(2),所述壓桿(2)的底面設(shè)置有若干個卡齒(3);
所述機(jī)械臂(1)帶動其底部的硅片花籃(7)經(jīng)預(yù)脫水槽槽體(4)頂部的開口縱向運(yùn)動,當(dāng)硅片花籃(7)向下運(yùn)動置于預(yù)脫水槽槽體(4)內(nèi),且預(yù)脫水槽槽體(4)內(nèi)的純水液(6)沒過于硅片(5)頂面時;壓桿(2)向下移動至卡齒(3)將硅片花籃(7)內(nèi)的若干塊硅片(5)依次橫向分隔開。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述機(jī)械桿(8)上設(shè)置有自上而下的運(yùn)動滑道(12),所述運(yùn)動滑道(12)的頂部和底部各連通有一定位槽(13)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述壓桿(2)的兩端分別設(shè)置有一限位柱(11),所述限位柱(11)的直徑大于壓桿(2)的直徑,限位柱(11)的直徑大于運(yùn)動滑道(12)的寬度,壓桿(2)的直徑小于運(yùn)動滑道(12)的寬度;所述定位槽(13)為一個縱向直徑大于橫向直徑的橢圓形,壓桿(2)的直徑小于定位槽(13)的橫向直徑,所述壓桿(2)兩端的限位柱(11)分別自位于其兩端的定位槽(13)的圓心處穿過,所述壓桿(2)在運(yùn)動滑道(12)內(nèi)上下滑動并最終限位于任意一個定位槽(13)內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述機(jī)械桿(8)的下段通過螺釘(10)與硅片花籃(7)的側(cè)壁可拆卸式連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:每組機(jī)械桿(8)均為2根,同組的2根機(jī)械桿(8)連接硅片花籃(7)的同一個側(cè)壁(9)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:若干個卡齒(3)依次等間距的排布于壓桿(2)的底面上。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述硅片(5)放置于硅片花籃(7)內(nèi),且硅片(5)的頂面高于硅片花籃(7)的頂面,所述運(yùn)動滑道(12)底部的定位槽(13)高于硅片花籃(7)的頂面并低于硅片(5)的頂面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述機(jī)械桿(8)上設(shè)置有自上而下的運(yùn)動滑道(12),所述運(yùn)動滑道(12)的頂部至底部依次連通有若干個定位槽(13),位于最底部的定位槽(13)高于硅片花籃(7)的頂面并低于硅片(5)的頂面。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述壓桿(2)的兩端分別設(shè)置有一限位柱(11),所述限位柱(11)的直徑大于壓桿(2)的直徑,限位柱(11)的直徑大于運(yùn)動滑道(12)的寬度,壓桿(2)的直徑小于運(yùn)動滑道(12)的寬度;所述定位槽(13)為一個縱向半徑大于橫向半徑的橢圓形,壓桿(2)的直徑小于定位槽(13)的橫向直徑,所述壓桿(2)兩端的限位柱(11)分別自位于其兩端的定位槽(13)的圓心處穿過,所述壓桿(2)在運(yùn)動滑道(12)內(nèi)上下滑動并最終限位于任意一個定位槽(13)內(nèi)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





