[實(shí)用新型]一種弧形工件激光直接曝光設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920236499.4
• 申請(qǐng)日: 2019-02-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209265177U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳國(guó)軍;寧震坤;吳景舟;馬迪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鈞迪智能裝備科技（蘇州）有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京匯捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11531
• 代理人: 李宏偉

1.一種弧形工件激光直接曝光設(shè)備，包括機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)置有曝光組件，其特征在于：所述機(jī)架上擺動(dòng)安裝有圓弧形的工件吸附組件，該工件吸附組件由擺動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)由上料工位擺動(dòng)至曝光完成工位，該工件吸附組件的吸附面為圓柱面且工件吸附組件的擺動(dòng)中心與圓柱面的中心軸重合，所述吸附面上設(shè)置有吸附孔，該吸附孔與負(fù)壓裝置連通；所述曝光組件包括固定于機(jī)架上的底座，所述底座上沿水平X軸方向滑動(dòng)安裝有X滑座，該X滑座由X動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)，所述X滑座上沿水平Y(jié)軸方向滑動(dòng)安裝有Y滑座，該Y滑座由Y動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)，所述Y滑座上安裝有DMD曝光鏡頭，該DMD曝光鏡頭水平設(shè)置且處于圓柱面的水平半徑上，DMD曝光鏡頭朝向吸附面，所述水平X軸方向與圓柱面的中心軸平行，所述水平Y(jié)軸與DMD曝光鏡頭所在水平半徑平行。

2.如權(quán)利要求1所述的一種弧形工件激光直接曝光設(shè)備，其特征在于：所述曝光設(shè)備還包括DMD曝光鏡頭校準(zhǔn)裝置，該校準(zhǔn)裝置包括固定于工件吸附組件上的校準(zhǔn)相機(jī)，該工件吸附組件擺動(dòng)到校準(zhǔn)工位時(shí)該校準(zhǔn)相機(jī)處于水平位置且與DMD曝光鏡頭對(duì)應(yīng)，所述DMD曝光鏡頭安裝于Z滑座上，該Z滑座沿豎直Z軸滑動(dòng)安裝于Y滑座上，所述Z滑座由Z動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)。

3.如權(quán)利要求2所述的一種弧形工件激光直接曝光設(shè)備，其特征在于：所述工件吸附組件包括柱面座體，該柱面座體的內(nèi)表面為90°圓心角的吸附面，所述校準(zhǔn)相機(jī)設(shè)置于柱面座體的一端且DMD曝光鏡頭適配。

4.如權(quán)利要求3所述的一種弧形工件激光直接曝光設(shè)備，其特征在于：所述機(jī)架上安裝有擺動(dòng)支座，所述擺動(dòng)支座上安裝有力矩電機(jī)，該力矩電機(jī)的動(dòng)力端的旋轉(zhuǎn)中心位于柱面座體的中心軸上，柱面座體通過(guò)擺臂安裝于力矩電機(jī)的動(dòng)力端。

5.如權(quán)利要求4所述的一種弧形工件激光直接曝光設(shè)備，其特征在于：所述擺臂包括第一擺臂單體和第二擺臂單體，第一擺臂單體的一端和第二擺臂單體的一端分別連接于力矩電機(jī)的動(dòng)力端，第一擺臂單體的另一端和第二擺臂單體的另一端均通過(guò)連接軸與柱面座體的兩端連接。

6.如權(quán)利要求5所述的一種弧形工件激光直接曝光設(shè)備，其特征在于：所述第一擺臂單體的一端和第二擺臂單體之間連接有連接桿。

7.如權(quán)利要求6所述的一種弧形工件激光直接曝光設(shè)備，其特征在于：所述X動(dòng)力裝置、Y動(dòng)力裝置、Z動(dòng)力裝置均為線性電機(jī)。

8.如權(quán)利要求7所述的一種弧形工件激光直接曝光設(shè)備，其特征在于：所述底座和X滑座之間設(shè)置有用于檢測(cè)X滑座極限位置的極限位置檢測(cè)傳感器。