[實用新型]一種濺射靶裝置有效
| 申請號： | 201920231530.5 | 申請日： | 2019-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN209816263U | 公開（公告）日： | 2019-12-20 |
| 發明（設計）人： | 魯旭亮;張越臣;陳龍 | 申請（專利權）人： | 常州星宇車燈股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 32231 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) | 代理人： | 王清 |
| 地址： | 213022 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 磁鐵 靶框 磁板 本實用新型 隔離塊 靶材 加工技術領域 濺射靶裝置 依次設置 真空鍍膜 中心設置 間隔環 濺射靶 水套板 背板 漏磁 螺絲 內壁 磁場 外圍 | ||
1.一種濺射靶裝置，其特征在于：
它包括靶框(1)，
所述靶框(1)的上方依次設置一水套板(2)和一靶材(3)；
所述靶框(1)的中心設置有一第一磁鐵(4)，所述第一磁鐵(4)的外圍間隔環設一第二磁鐵(5)，且所述第一磁鐵(4)和所述第二磁鐵(5)之間設置隔離塊(6)、所述第二磁鐵(5)和所述靶框(1)的內壁之間設置所述隔離塊(6)；所述第一磁鐵(4)和所述第二磁鐵(5)下方設置一閉磁板(7)，所述閉磁板(7)上設置有一用于調節所述閉磁板(7)與所述靶材(3)距離的調節螺絲(8)；
所述靶框(1)的下方設置一背板(9)。
2.根據權利要求1所述的一種濺射靶裝置，其特征在于：所述第二磁鐵(5)的寬度為所述第一磁鐵(4)寬度的1/2。
3.根據權利要求1所述的一種濺射靶裝置，其特征在于：所述隔離塊(6)的材質采用聚四氟乙烯。
4.根據權利要求2所述的一種濺射靶裝置，其特征在于：所述隔離塊(6)的材質采用聚四氟乙烯。
5.根據權利要求1或2或3或4所述的一種濺射靶裝置，其特征在于：所述閉磁板(7)的材質采用純鐵。
6.根據權利要求5所述的一種濺射靶裝置，其特征在于：所述水套板(2)中間具有凹槽，所述凹槽內設置與所述第一磁鐵(4)相對應的用于所述第一磁鐵(4)安裝時定位以及鍍膜過程中磁場約束的第一導磁條(10)，與所述第二磁鐵(5)相對應的用于所述第二磁鐵(5)安裝時定位以及鍍膜過程中磁場約束第二導磁條(11)，且所述第一導磁條(10)和所述第二導磁條(11)間隔設置。
7.根據權利要求6所述的一種濺射靶裝置，其特征在于：所述水套板(2)還設有環形凹槽，且所述環形凹槽設置在所述凹槽的外圍，所述環形凹槽內設置用于所述靶材(3)和所述水套板(2)之間的密封的第一密封圈(12)。
8.根據權利要求1所述的一種濺射靶裝置，其特征在于：所述靶框(1)上下端面各設置一環形凹槽，且所述環形凹槽內設置一用于所述靶框(1)與所述水套板(2)之間密封的第二密封圈(13)，下環形凹槽內設置一用于所述靶框(1)與所述背板(9)之間密封的第三密封圈(14)。
9.根據權利要求1所述的一種濺射靶裝置，其特征在于：所述靶材(3)的外圍設有用于將所述靶材(3)、所述水套板(2)固定在所述靶框(1)上的壓條(15)。
10.根據權利要求9所述的一種濺射靶裝置，其特征在于：所述靶材(3)、所述壓條(15)、所述水套板(2)、所述靶框(1)和所述背板(9)采用緊固螺絲(16)固定成一體。
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