[實用新型]一種用于車用大功率二極管可靠性無損檢測裝置

有效

• 申請號: 201920223589.X
• 申請日: 2019-02-22
• 公開（公告）號: CN209992611U
• 公開（公告）日: 2020-01-24
• 發明（設計）人: 馮晶;于思瑤;張爽;王偉;李金春;付紅玲
• 申請（專利權）人: 江蘇云意電氣股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 32245 南京同澤專利事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 石敏

本實用新型公開了一種用于車用大功率二極管可靠性無損檢測裝置，包括機箱、屏蔽箱、屏蔽板、檢測臺、偏置電路、前置放大器、頻譜分析儀、計算機、箱門、第一滑槽、安裝組件和基座，其特征在于：所述機箱的內部設置有前置放大器，所述前置放大器的頂部設置有屏蔽箱，且屏蔽箱的內部固定安裝有檢測臺，所述檢測臺的內部設置有偏置電路，所述前置放大器的外側設置有頻譜分析儀，所述頻譜分析儀的外側設置有計算機，所述檢測臺的頂部設置有兩個安裝組件，該用于車用大功率二極管可靠性無損檢測裝置，在使用時，能夠有效提高篩選準確率，也可以缺陷較小的篩選出；而且不損傷被測產品，實現無損檢測；同時，縮短篩選周期，降低篩選成本。

技術領域

本實用新型涉及半導體器件可靠性檢測設備領域，具體為一種用于車用大功率二極管可靠性無損檢測裝置。

背景技術

車用大功率二極管屬于半導體器件，半導體器件可靠性檢測一直是半導體行業的難題，目前常用的方法是應力篩選。

應力篩選包括電應力篩選和熱應力篩選兩種。電應力篩選通過給二極管施加間歇性大電流，通過二極管自身功耗產生熱量使溫度變化從而產生熱應力。熱應力篩選是通過給二極管外部施加熱量，外部熱量傳遞到二極管內部從而產生內應力。因此電應力篩選和熱應力篩選二者本質上都屬于熱應力篩選，只是熱量來源不同。

業界最常用的應力篩選方法是溫度循環法，具體做法是將二極管放入高低溫循環試驗箱內，試驗箱可以自動在高溫和低溫之間循環變化。通常高溫設置150℃，低溫設置-40℃，在高溫和低溫下各暴露0.5～1小時，然后快速變化至另一溫度。

應力篩選的缺點是：

1）不能完全篩除有缺陷產品；芯片缺陷有大有小，缺陷較大產品經過應力篩選可以篩出，但是缺陷較小的產品經過應力篩選后電性能未惡化到可以測試出來的程度，從而流到市場出現早期失效；

2）可能對無缺陷的好產品造成損傷；應力篩選本質上屬于有損檢測，不可避免對好產品造成損傷，如果損傷未使電性能惡化到可以測出的程度，也會流到市場造成早期失效;

3）篩選周期長，成本高；高低溫循環通常需要幾十到幾百個小時，時間長，耗電量大，因此成本很高;

因此，設計一種用于車用大功率二極管可靠性無損檢測裝置是很有必要的。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種用于車用大功率二極管可靠性無損檢測裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

本實用新型的目的可以通過以下技術方案實現：一種用于車用大功率二極管可靠性無損檢測裝置，包括機箱、屏蔽箱、屏蔽板、檢測臺、偏置電路、前置放大器、頻譜分析儀、計算機、箱門、第一滑槽、安裝組件和基座，其特征在于：所述機箱的內部設置有前置放大器，所述前置放大器的頂部設置有屏蔽箱，且屏蔽箱的內部固定安裝有檢測臺，所述檢測臺的內部設置有偏置電路，所述前置放大器的外側設置有頻譜分析儀，所述頻譜分析儀的外側設置有計算機，所述檢測臺的頂部設置有兩個安裝組件，所述安裝組件包括立板、第一滑塊、第二滑槽、活動夾板、第二滑塊、固定夾板、安裝塊、緊固螺桿、安裝螺孔和防刮墊片，所述立板的外側分別設置有活動夾板和固定夾板，所述活動夾板和固定夾板的頂部均通過螺栓安裝有安裝塊，所述安裝塊的一側開設有安裝螺孔，且安裝螺孔內配合安裝有緊固螺桿，所述活動夾板和固定夾板的一側均固定安裝有防刮墊片，所述機箱的外側通過合頁安裝有箱門，所述機箱的底部四周分別通過螺栓安裝有基座。

作為本發明進一步的方案：所述屏蔽箱的外側固定安裝有屏蔽板。

作為本發明進一步的方案：所述偏置電路包括直流電源、單刀單擲開關、線繞電位器、線繞電阻、信號輸出接口、單刀雙擲開關和電流表，所述前置放大器與偏置電路的信號輸出接口連接。

作為本發明進一步的方案：所述檢測臺的頂部兩側開設有第一滑槽，所述立板的底部兩側均安裝有第一滑塊，且第一滑塊與第一滑槽滑動連接。