[實用新型]內置式雙重限位機構

有效

• 申請號: 201920219814.2
• 申請日: 2019-02-21
• 公開（公告）號: CN209754886U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 顧海洋;楊思遠
• 申請（專利權）人: 杭州眾硅電子科技有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;H01L21/67;H01L21/306
• 代理公司: 31323 上海元好知識產權代理有限公司
• 代理人: 張妍;劉琰

1.一種內置式雙重限位機構，用于拋光晶圓時限位擺臂的旋轉范圍，擺臂第一端底部安裝有拋光頭，擺臂第二端底部固定設有圓柱形的擺臂軸，擺臂軸底部連接固定軸頂部，擺臂軸的直徑匹配固定軸的直徑，擺臂軸與固定軸同中心軸，旋轉電機驅動擺臂軸繞擺臂軸的中心軸旋轉從而帶動擺臂轉動，其特征在于，包含：第一小軸、電氣限位模塊、機械限位模塊和若干個透明防護罩；

所述第一小軸頂部連接擺臂軸底部，第一小軸底部固定連接固定軸頂部；第一小軸與固定軸同中心軸；第一小軸的直徑小于固定軸的直徑；擺臂軸底部和固定軸頂部之間形成第一凹槽；

所述電氣限位模塊固定設置在所述第一凹槽內，限位擺臂的旋轉范圍；

所述機械限位模塊固定設置在所述第一凹槽內，在電氣限位模塊故障時，限位擺臂的旋轉范圍；

所述若干個透明防護罩依次連接的固定安裝在固定軸外壁，且與第一凹槽位置對應、與第一凹槽的高度相匹配，將電氣限位模塊和機械限位模塊與外界環境隔離。

2.如權利要求1所述的內置式雙重限位機構，其特征在于，所述機械限位模塊包含：相同的第一旋轉撞塊、第二旋轉撞塊，相同的第一固定撞塊、第二固定撞塊；第一旋轉撞塊和第二旋轉撞塊分開的固定設置在擺臂軸底部并位于第一凹槽內；第一固定撞塊和第二固定撞塊均固定設置在第一旋轉撞塊和第二旋轉撞塊之間的第一小軸外壁上，且位于第一凹槽內；第一旋轉撞塊與第一固定撞塊有干涉，第二旋轉撞塊與第二固定撞塊有干涉。

3.如權利要求2所述的內置式雙重限位機構，其特征在于，所述第一固定撞塊第一端端面貼合第二固定撞塊第一端端面，第一固定撞塊與第二固定撞塊上、下底面平齊。

4.如權利要求3所述的內置式雙重限位機構，其特征在于，所述電氣限位模塊還包含相同的第一旋轉感應片和第二旋轉感應片；所述第一旋轉感應片、第二旋轉感應片均固定設置在擺臂軸底部，且位于第一凹槽內；第一旋轉感應片設置在第一旋轉撞塊和第一固定撞塊之間，且貼近第一旋轉撞塊；第一旋轉感應片與第一固定撞塊無干涉；第二旋轉感應片設置在第二旋轉撞塊和第二固定撞塊之間，且貼近第二旋轉撞塊；第二旋轉感應片與第二固定撞塊無干涉。

5.如權利要求4所述的內置式雙重限位機構，其特征在于，所述電氣限位模塊包含相同第一傳感器和第二傳感器，均固定設置在固定軸的頂部且通過電纜連接上位機；第一傳感器與第一固定撞塊第二端位置對應；第二傳感器與第二固定撞塊第二端位置對應；第一傳感器對應第一旋轉感應片且與第一旋轉感應片無干涉，第一旋轉感應片位于第一傳感器上方的感應區時，第一傳感器發送第一旋轉感應片的感應信號給上位機；第二傳感器對應第二旋轉感應片且與第二旋轉感應片無干涉，第二旋轉感應片位于第二傳感器上方的感應區時，第二傳感器發送第二旋轉感應片的感應信號給上位機；上位機根據接收的感應信號控制旋轉電機繼續工作或停止工作。

6.如權利要求5所述的內置式雙重限位機構，其特征在于，還包含走線孔；所述走線孔連通固定軸內部，并設置在第一傳感器和第二傳感器之間的第一小軸外壁上；第一傳感器的電纜線與第二傳感器的電纜線均依次穿設所述走線孔、固定軸內部后連接上位機。

7.如權利要求1所述的內置式雙重限位機構，其特征在于，所述透明防護罩的內型面匹配固定軸的外壁。

8.如權利要求1所述的內置式雙重限位機構，其特征在于，透明防護罩與第一凹槽位置對應、與第一凹槽的高度相匹配具體是指，透明防護罩的頂部高于擺臂軸的底部，透明防護罩的底部低于固定軸的頂部。