[實用新型]基于利用壓電檢測法的正負X面檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920213735.0
• 申請日: 2019-02-19
• 公開（公告）號: CN209673700U
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發(fā)明（設計）人: 易際讓;劉德輝
• 申請（專利權(quán)）人: 泰安博聯(lián)物聯(lián)網(wǎng)科技有限公司
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00
• 代理公司: 33212 杭州中成專利事務所有限公司
• 代理人: 金祺<國際申請>=<國際公布>=<進入國

本實用新型提供一種基于利用壓電檢測法的正負X面檢測裝置：包括下板和上板，下板兩側(cè)設置有下板導軌，下板導軌首尾兩端分別設置有抵板，上板兩側(cè)設置有與下板導軌配合使用的上板導軌支架。本實用新型采用了兩平面接觸式擠壓裝置，避免了對物聯(lián)網(wǎng)用器件的薄基片造成的棱角損傷，同時引入了彈性擠壓構(gòu)造和電極接觸平面，將測試過程中薄基片棱角的損傷降到了最低。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及物聯(lián)網(wǎng)用石英晶體器件制造中基片的正負X面檢測，具體涉及基于利用壓電檢測法的正負X面檢測裝置。

背景技術(shù)

人造壓電石英晶體具有壓電效應和寬溫度變化下頻率穩(wěn)定的優(yōu)良性能，廣泛應用于物聯(lián)網(wǎng)器件制造。

在物聯(lián)網(wǎng)用石英晶體生長時由于晶體的各向異性決定了晶體不同方向的生長速率不同，尤其是晶體的電軸(X)方向，其正電軸(+X)和負電軸(-X)方向生長速率不同，為了防止晶體生長時不產(chǎn)生碰撞和粘連，必須按照相同的電軸方向懸掛籽晶片，另外在物聯(lián)網(wǎng)器件制造過程中經(jīng)常要對基片的正負X面進行區(qū)分，在目前主要采用光學檢測和壓電檢測的方法進行檢測。

光學檢測方法是用通過針孔的光源在石英晶體Z面上產(chǎn)生星芒圖光斑，觀測光斑的指示角度來判別正負X面，該方法對Z面的粗糙度有要求，當表面光潔度較高時無法觀測到星芒圖光斑的角度。

壓電檢測法是利用石英晶體的壓電效應，通過對基片進行擠壓產(chǎn)生電荷，并通過放大電荷并根據(jù)電荷極性來區(qū)分正負X面。

專利《ZL20092014666.9壓電石英晶體正負X向識別裝置》公布了一種基于壓電檢測法的石英晶體器件正負X面檢測裝置，其提供的剪刀型壓力手柄會對物聯(lián)網(wǎng)用器件的薄基片造成棱角損傷，測量物聯(lián)網(wǎng)應用的較小基片時，不能有效的用手固定檢測，另外由于手拿基片會產(chǎn)生感應電荷，會對引起檢測放大器振蕩，從而產(chǎn)生測量誤差。

因此，需要對現(xiàn)有技術(shù)進行改進。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種高效的物聯(lián)網(wǎng)用基片正負X極性檢測裝置。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種基于利用壓電檢測法的正負X面檢測裝置：包括下板和上板；

所述下板兩側(cè)設置有下板導軌，下板導軌首尾兩端分別設置有抵板；所述上板兩側(cè)設置有與下板導軌配合使用的上板導軌支架，上板導軌支架套設在兩個下板導軌上；所述上板通過下板導軌滑動設置在下板導軌上；

所述下板導軌套設有彈簧，彈簧一端與抵板抵接；另一端與上板導軌支架一端抵接；所述彈簧和上板導軌支架均位于兩個抵板之間；所述彈簧位于下板首端一側(cè)，上板導軌支架位于下板尾端一側(cè)；

所述下板頂部設置有定位導軌，上板底部設置有與定位導軌配合使用的定位導軌槽，所述上板通過定位導軌槽滑動設置在定位導軌上；所述下板和上板之間設置有空隙；

所述下板頂部首端設置有下板電極，所述上板上設置有上下貫通的測試觀測孔；所述上板底部固定設置有與下板電極配合使用的上板電極，上板電極與電極接頭連接。

作為對本實用新型基于利用壓電檢測法的正負X面檢測裝置的改進：

所述下板電極上設置有電極接頭，下板電極通過電極接頭與電荷放大器連接。

作為對本實用新型基于利用壓電檢測法的正負X面檢測裝置的進一步改進：

所述定位導軌的長度方向與下板從首端到尾端的方向相同。

作為對本實用新型基于利用壓電檢測法的正負X面檢測裝置的進一步改進于：

所述下板底部設置有橡膠角墊。

本實用新型基于利用壓電檢測法的正負X面檢測裝置的技術(shù)優(yōu)勢為：